[發(fā)明專利]外延基板有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010260257.2 | 申請日: | 2010-08-23 |
| 公開(公告)號: | CN102376835A | 公開(公告)日: | 2012-03-14 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 黃世晟;凃博閔;楊順貴;黃嘉宏 | 申請(專利權(quán))人: | 展晶科技(深圳)有限公司;榮創(chuàng)能源科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L33/20 | 分類號: | H01L33/20 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518109 廣東省深圳市寶*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 外延 | ||
1.一種用于成長發(fā)光二極管磊晶結(jié)構(gòu)的外延基板,該外延基板具有一個第一表面,發(fā)光二極管磊晶結(jié)構(gòu)外延生長在該外延基板的第一表面上,其特征在于:該外延基板的第一表面上形成有至少一第一凹槽,以使該外延基板成長的發(fā)光二極管磊晶結(jié)構(gòu)具有至少兩個以上的發(fā)光峰值。
2.如權(quán)利要求1所述的外延基板,其特征在于,該第一凹槽的數(shù)量為多個,該多個第一凹槽的深度相同。
3.如權(quán)利要求1所述的外延基板,其特征在于,該第一凹槽的數(shù)量為多個,該多個第一凹槽等距離陣列排布。
4.如權(quán)利要求1所述的外延基板,其特征在于,該第一凹槽的數(shù)量為多個,每個第一凹槽在該外延基板的第一表面上形成有一個第一開口,每個第一凹槽在該第一表面上形成的第一開口的大小相同。
5.如權(quán)利要求4所述的外延基板,其特征在于,該第一開口為圓形或多邊形。
6.如權(quán)利要求1所述的外延基板,其特征在于,該外延基板的材料為硅或者碳化硅。
7.如權(quán)利要求1所述的外延基板,其特征在于,該第一表面上進(jìn)一步形成有第二凹槽,該第二凹槽與該第一凹槽大小不相同。
8.如權(quán)利要求7所述的外延基板,其特征在于,該第二凹槽的數(shù)量為多個,該多個第二凹槽在該外延基板的第一表面上形成有一第二開口,每個第一凹槽在該第一表面上形成的第二開口的大小相同。
9.如權(quán)利要求8所述的外延基板,其特征在于,該第二開口為圓形或多邊形。
10.如權(quán)利要求7所述的外延基板,其特征在于,該第一凹槽與該第二凹槽的數(shù)量分別為多個,該多個第一凹槽與該多個第二凹槽等距離交錯設(shè)置。
11.如權(quán)利要求7所述的外延基板,其特征在于,該第一凹槽與該第二凹槽的數(shù)量分別為多個,該多個第一凹槽與該多個第二凹槽的深度相同。
12.如權(quán)利要求7所述的外延基板,其特征在于,該第一凹槽與該第二凹槽的數(shù)量分別為多個,該多個第一凹槽與該多個第二凹槽的深度不相同。
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