[發明專利]有助于增進氣體與汽化材料接觸的方法和裝置

有效

• 申請號: 201010259171.8
• 申請日: 2005-06-01
• 公開（公告）號: CN101905126A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發明（設計）人: 約翰·格雷格;斯科特·巴特爾;杰弗里·I·邦東;唐·奈托;拉維·K·拉克斯曼
• 申請（專利權）人: 高級技術材料公司
• 主分類號: B01F3/04
• 分類號: B01F3/04
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李丙林;張英

本申請是申請日為2005年6月1日、申請號為2005800259208、發明名稱為“有助于增進氣體與汽化材料接觸的方法和裝置”的發明專利申請的分案申請。

相關申請的交叉引用

本申請是2002年7月23日提交的名稱為“汽化器遞送瓶”的美國專利申請第10/201,518號的部分延續。將美國專利申請第10/201,518號的內容結合于此作為參考。

技術領域

本專利申請中所描述的一個或多個具體實施方式涉及汽化器(蒸發器，vaporizer)的領域。

背景技術

汽化器可用于，例如在載氣中將材料遞送到半導體加工設備如(例如)化學汽相淀積(VCD)設備的工藝室(加工室，process?chamber)以在工件或離子注入機上形成薄膜，從而使離子朝向工件加速而注入該工件。

一種稱為鼓泡器(bubbler)的汽化器通過加熱容器中的液體材料并以可控速率將載氣引入容器底部附近的液體材料中而將來自液態材料的蒸汽遞送到工藝室。然后當載氣氣泡到達容器頂部時，載氣變得飽和有來自液體材料的蒸汽。然后飽和載氣被遞送至工藝室。

來自固態材料的蒸汽可以通過加熱該材料至其升華溫度并引導載氣流通過該加熱后的材料而被遞送至工藝室。

發明內容

至少一種披露的裝置包括容器和有助于支撐容器中的材料使其具有增大的暴露表面積的結構，從而有助于增進氣體與汽化材料的接觸。用于至少一種所披露裝置的結構可以有助于以當材料被置于該結構時一樣的形式支撐用于汽化的材料。

至少一種披露的裝置包括容器和有助于支撐容器中的材料使其具有增大的暴露表面積的結構，從而有助于增進氣體與汽化材料的接觸，其中汽化材料用于遞送至原子層淀積(ALD)工藝設備(加工設備，process?equipment)。

至少一種披露的裝置包括容器和有助于支撐容器中的液體材料使其具有增大的暴露表面積的結構，從而有助于增進氣體與汽化的液體材料的接觸。

至少一種披露的裝置包括容器以及有助于支撐容器中的材料使其具有增大的暴露表面積的一個或多個限定支撐表面的支撐物(支架，holder)，從而有助于增進氣體與汽化材料的接觸。用于至少一種所披露裝置的支撐物沿通過支撐物支持表面的開口周邊的至少一部分可以具有一個或多個側壁，以有助于限定氣體可以通過其流過支撐物的通道。

至少一種披露的裝置包括容器和有助于支撐容器中的材料使其具有增大的暴露表面積的一個或多個限定支撐表面的支撐物，從而有助于增進氣體與汽化材料的接觸。用于至少一種所披露裝置的支撐物可以具有一個或多個壁以及在一個或多個壁內的一個或多個通道，以使氣體流過該支撐物。

至少一種披露的裝置包括容器和有助于支撐容器中的材料使其具有增大的暴露表面積的一個或多個限定支撐表面的支撐物，從而有助于增進氣體與汽化材料的接觸。用于至少一種所披露裝置的支撐物可以限定支撐表面，其中該支撐表面的至少一部分是在至少部分地可滲透材料(氣體通過其可以流動)的上方。

至少一種披露的方法包括加熱容器以有助于汽化容器中的材料，將氣體引入該容器，以及將由所引入的氣體與汽化材料接觸而產生的氣體遞送至工藝設備。用于至少一種所披露方法的容器可以具有有助于支撐容器中的材料使其具有增大的暴露表面積的結構，從而有助于增進氣體與汽化材料的接觸。用于至少一種所披露方法的結構可以有助于以與當該材料被置于該結構時一樣的形式支撐用于汽化的材料。

至少一種披露的方法包括加熱容器以有助于汽化容器中的材料，將氣體引入該容器，將由所引入的氣體與汽化材料接觸而產生的氣體遞送至原子層淀積工藝設備，以及利用該遞送的氣體實施原子層淀積工藝。用于至少一種所披露方法的容器可以具有有助于支撐容器中的材料使其具有增大的暴露表面積的結構，從而有助于增進氣體與汽化材料的接觸。

附圖說明

通過所附附圖中的實施例但不是限制性地描述了一種或多種具體實施方式，其中相同標號表示相同元件并且附圖中：

圖1描述了用于一種或多種具體實施方式的利用有助于增進氣體與汽化材料接觸的汽化器的系統；

圖2描述了用于一種或多種具體實施方式的用于圖1的系統中氣體遞送的流程圖；

圖3描述了用于一種具體實施方式的汽化器容器的透視、剖視圖，其中汽化器容器具有有助于增進氣體與來自該支撐物所支撐材料的蒸汽的接觸的支撐物；

圖4描述了用于一種具體實施方式的支撐物的透視圖；

圖5描述了用于一種具體實施方式的設置在另一支撐物上方的支撐物的截面圖；