[發明專利]有助于增進氣體與汽化材料接觸的方法和裝置

有效

• 申請號: 201010259171.8
• 申請日: 2005-06-01
• 公開（公告）號: CN101905126A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發明（設計）人: 約翰·格雷格;斯科特·巴特爾;杰弗里·I·邦東;唐·奈托;拉維·K·拉克斯曼
• 申請（專利權）人: 高級技術材料公司
• 主分類號: B01F3/04
• 分類號: B01F3/04
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 李丙林;張英

1.一種用于汽化和遞送汽化源材料的汽化器，所述汽化器包括：

容器，包括至少一個限定內部的容器壁；以及

設置在至少與所述內部接觸的間歇流體的氣體入口和氣體出口，所述氣體入口適合于向所述內部供應第一氣體；以及

至少一個支撐物，包括設置于所述內部的支撐表面，其中所述支撐表面適合于在所述內部或在所述內部沿所述第一氣體的流程支撐可汽化源材料，以及其中所述至少一個支撐表面被至少一個壁分隔成兩個或更多個支撐可汽化源材料的離散區域。

2.一種用于汽化和遞送汽化源材料的汽化器，所述汽化器包括：

容器，包括至少一個限定內部的容器壁；以及

設置在至少與所述內部接觸的間歇流體的氣體入口和氣體出口，所述氣體入口適合于向所述內部供應第一氣體；以及

至少一個支撐物，包括設置于所述內部的支撐表面，其中所述支撐表面適合于在所述內部或沿所述第一氣體的流動路徑在所述內部支撐可汽化源材料，以及

與所述容器相連的至少一個旁路通道、另外的入口或另外外的出口適于允許固體沉淀物或污染物從一個或多個容器入口、一個或多個容器出口、和/或所述內部的一個或多個區域清除。

3.根據權利要求1或2所述的汽化器，其中，所述至少一個支撐物包括一個或多個由所述支撐表面的周邊向上延伸的側壁。

4.根據權利要求1-3之一所述的汽化器，其中，所述至少一個支撐物包括由所述支撐表面向上延伸的多個管，每個管限定了允許氣體流動的通道。

5.根據權利要求1-4之一所述的汽化器，其中，所述至少一個支撐物包括設置于所述內部的多個支撐物。

6.根據權利要求5所述的汽化器，其中，所述多個支撐物被設置成堆積形式。

7.根據權利要求1或2所述的汽化器，其中，至少一個支撐物的側壁與所述容器壁接觸。

8.根據權利要求1或2所述的汽化器，其中所述可汽化材料包括固體。

9.根據權利要求8所述的汽化器，其中，所述固體可汽化材料包括粉末、聚集顆粒和結晶體形式中的任一種。

10.根據權利要求8所述的汽化器，其中，所述固體可汽化材料包括設置在所述至少一個支撐物的支撐表面上的膜。

11.根據權利要求1或2所述的汽化器，其中，所述可汽化材料包括液體。

12.根據權利要求1所述的汽化器，其中，所述可汽化材料包括在所述兩個或更多個離散區域的不同物質。

13.根據權利要求1-12之一所述的汽化器，還包括設置在所述內部并與所述氣體入口連通性地連接的至少一個管。

14.根據權利要求13所述的汽化器，其中，所述至少一個管延伸通過所述至少一個支撐物的所述支撐表面。

15.根據權利要求1或2所述的汽化器，所述氣體入口和氣體出口沿著所述容器的第一端設置。

16.根據權利要求1或2所述的汽化器，其中，所述容器具有第一端、第二端和至少一個壁，所述氣體入口和所述氣體出口的每個沿著所述第一端、第二端和至少一個壁中不同的一個進行布置。

17.根據權利要求1-3之一所述的汽化器，包括多個通道，用于在所述內部分布氣體。

18.根據權利要求1-3之一所述的汽化器，其中，每個支撐表面限定了多個通路。

19.根據權利要求3所述的汽化器，其中，至少一個支撐物在一個或多個側壁中限定了通路以允許氣體流動通過一個或多個側壁。

20.根據權利要求1所述的汽化器，包括至少一個相關加熱元件。

21.根據權利要求1-3之一所述的汽化器，其中所述至少一個支持表面包括篩網和/或金屬棉。

22.根據權利要求1-3之一所述的汽化器，其中所述至少一個支撐物是從所述容器可拆卸的。

23.根據權利要求1或2所述的汽化器，還包括至少一個與所述氣體入口和氣體出口中的任一個連通性地連接的氣體流量計。