[發明專利]正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法

無效

• 申請號: 201010247760.4
• 申請日: 2010-07-30
• 公開（公告）號: CN102346372A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發明（設計）人: 施俊安;陳凱民
• 申請（專利權）人: 奇美實業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/008
• 分類號: G03F7/008;G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1368
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 王敏杰

技術領域

本發明是有關一種流延涂布方式用正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法。特別是提供一種使用在超大型積體電路(以下簡稱VLSI)的半導體集積回路組件及薄膜電晶體(以下簡稱TFT)的液晶顯示組件制造中，涂布均勻性佳、感度高、顯影性佳及殘膜率高的流延涂布方式用正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法。?

背景技術

液晶顯示器在制造上，包括薄膜電晶體(TFT)及彩色濾光片(Color?filter)，基板大型化一直是必然的趨勢，從所謂尺寸為320mm×400mm的第一代基板，到尺寸為370mm×470mm的第二代基板，到尺寸為550mm×650mm的第三代基板，再演變至尺寸為680mm×880mm～730mm×920mm的第四代基板，其目的就是要降低制造成本。而今后基板的主流尺寸已確定為邊長大于1000mm的第五代以上的基板，例如：960mm×1100mm、1100mm×1250mm、1100mm×1300mm、1500mm×1800mm、1800mm×2000mm等各種尺寸的基板，其生產效益預估較第四代基板高約一倍。?

當基板尺寸在550mm×650mm以下時，若以回轉涂布方式將TFT回路或鉻黑?色矩陣(Cr?black?matrix)用的正型感光性樹脂涂布在基板形成涂膜時，相對于基板的中央部份，該涂膜于基板的周圍的部份有增厚的傾向。同時回轉涂布的原料利用率極低，約有90％以上的感光性樹脂材料會于回轉涂布時被甩離基板，亦即，使用回轉涂布的方式易造成正型感光性樹脂材料的浪費、產能降低。?

當基板尺寸放大至730mm×920mm時，為節省單位面積的感光性樹脂材料用量，感光性樹脂的涂布方式由早期的「回轉涂布」改為「流延-回轉涂布」。其中「流延-回轉涂布」方式是以流延涂布(slit?coating)的方式先將感光性樹脂涂布于基板上，然后再以回轉方式讓感光性樹脂均勻分布在基板上(即流延-回轉涂布法，slit-spin?process)。此種涂布方式的優點是感光性樹脂材料的使用量可大幅降低，原材料利用率可由回轉涂布方式的10％以下，提高至約20％，不過，基板邊緣殘留極厚的感光性樹脂形成珠粒的缺點仍無法改善，需要設置基板周邊清洗制程清洗感光性樹脂于基板邊緣所形成過厚的珠粒，所以需增加設備投資成本及清洗液購料成本，且影響整體產能。?

而當液晶顯示器使用的基板尺寸邊長大于1000mm時，為降低感光性樹脂材料的使用成本，感光性樹脂的涂布方式已確定改采「非回轉涂布」，意即，只以流延涂布法涂布感光性樹脂即可，不須再經過前述回轉涂布(即所謂不需回轉涂布的流延涂布法，以下簡稱流延涂布法，spinless?process)。例如2002年11月號Display雜志(日文期刊)于第36頁，提及以流延涂布生產大型化第五代彩色濾光片基板的制造技術及裝置，又如2002年6月號電子材料雜志(日文期刊)于第107頁，亦提及流延涂布裝置應用于平面顯示器的基板的涂布生產。前述?流延涂布法不需再經回轉涂布，其優點為感光性樹脂材料的使用效率為100％，感光性樹脂材料的購料成本可降低，基板邊緣不再殘留極厚的感光性樹脂材料，制造時不須再加設周邊清洗裝置及購買清洗液，故可有效低制造成本。?

然而，采用流延涂布法，卻極易產生涂布均勻性不佳的問題，特別是近年來，電視、電腦顯示器等影像顯示設備的顯示面積有日益增大的趨勢，此種流延涂布方式難以確保大型顯示器的畫質均一性。?

日本公開特許2004-258099揭露使用兩種不同重量平均分子量的酚醛清漆樹脂與含萘醌二迭氮基的化合物進行混合作為正型感光性樹脂組成物，可于基板上形成良好的圖案，然而，該組成物以流延涂布方式涂布于基板上，仍有涂布不均勻、顯影性不佳、殘膜率低等問題點而未能讓業者所接受。?

發明內容

本發明主要目的在于提供一種流延涂布方式用正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法。特別是提供一種涂布均勻性佳、感度高、顯影性佳及殘膜率高的流延涂布方式用正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法。?