[發明專利]正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法無效
| 申請號: | 201010247760.4 | 申請日: | 2010-07-30 |
| 公開(公告)號: | CN102346372A | 公開(公告)日: | 2012-02-08 |
| 發明(設計)人: | 施俊安;陳凱民 | 申請(專利權)人: | 奇美實業股份有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/008 | 分類號: | G03F7/008;G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1368 |
| 代理公司: | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
| 地址: | 中國臺灣臺南*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 感光性 樹脂 組成 使用 形成 圖案 方法 | ||
1.一種流延涂布方式用正型感光性樹脂組成物,包含:
酚醛清漆樹脂(A);
鄰萘醌二迭氮磺酸類的酯化物(B);以及
溶劑(C);
其中,該酚醛清漆樹脂(A)以凝膠滲透色層分析法測得的分子量分布,將分子量介于200~120,000的樹脂訊號作積分,以分子量及累積重量百分率繪圖求得積分分子量分布曲線,該酚醛清漆樹脂(A)中,分子量介于1,000~3,000的酚醛清漆樹脂占該酚醛清漆樹脂(A)5~45%,分子量30,000以上的酚醛清漆樹脂占該酚醛清漆樹脂(A)10%以下。
2.一種使用權利要求1所述正型感光性樹脂組成物形成圖案的方法,其是將該正型感光性樹脂組成物依序施予預烤、曝光、顯影及后烤處理,據此形成圖案。
3.一種薄膜電晶體陣列基板,包含一圖案,其中,該圖案是執行如權利要求2所述的方法所形成的。
4.一種液晶顯示組件,包含如權利要求3所述的薄膜電晶體陣列基板。
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