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[發明專利]正型感光性樹脂組成物及使用該組成物形成圖案的方法無效

專利信息
申請號: 201010247760.4 申請日: 2010-07-30
公開(公告)號: CN102346372A 公開(公告)日: 2012-02-08
發明(設計)人: 施俊安;陳凱民 申請(專利權)人: 奇美實業股份有限公司
主分類號: G03F7/008 分類號: G03F7/008;G03F7/039;G03F7/00;G02F1/1368
代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213 代理人: 王敏杰
地址: 中國臺灣臺南*** 國省代碼: 中國臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 感光性 樹脂 組成 使用 形成 圖案 方法
【權利要求書】:

1.一種流延涂布方式用正型感光性樹脂組成物,包含:

酚醛清漆樹脂(A);

鄰萘醌二迭氮磺酸類的酯化物(B);以及

溶劑(C);

其中,該酚醛清漆樹脂(A)以凝膠滲透色層分析法測得的分子量分布,將分子量介于200~120,000的樹脂訊號作積分,以分子量及累積重量百分率繪圖求得積分分子量分布曲線,該酚醛清漆樹脂(A)中,分子量介于1,000~3,000的酚醛清漆樹脂占該酚醛清漆樹脂(A)5~45%,分子量30,000以上的酚醛清漆樹脂占該酚醛清漆樹脂(A)10%以下。

2.一種使用權利要求1所述正型感光性樹脂組成物形成圖案的方法,其是將該正型感光性樹脂組成物依序施予預烤、曝光、顯影及后烤處理,據此形成圖案。

3.一種薄膜電晶體陣列基板,包含一圖案,其中,該圖案是執行如權利要求2所述的方法所形成的。

4.一種液晶顯示組件,包含如權利要求3所述的薄膜電晶體陣列基板。

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