[發(fā)明專利]球柵陣列測(cè)試座

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010245287.6
• 申請(qǐng)日: 2010-07-30
• 公開（公告）號(hào): CN102346199A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝君強(qiáng);何俊明;王娜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/04
• 分類號(hào): G01R1/04;G01R31/26;G01R31/311
• 代理公司: 北京德琦知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11018
• 代理人: 牛崢;王麗琴

1.一種球柵陣列測(cè)試座，包括測(cè)試座蓋以及和測(cè)試座蓋相匹配的底座，用于測(cè)試球柵陣列器件，其特征在于，所述底座上設(shè)置有射源放置區(qū)，所述射源放置區(qū)為與放射源側(cè)壁卡接的閉合凸起，用于將放射源固定其內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試座，其特征在于，所述射源放置區(qū)為環(huán)狀凸起。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)試座，其特征在于，所述測(cè)試座進(jìn)一步包括相適配的定位柱和定位孔，所述定位柱呈四角對(duì)稱分布于底座上，所述定位孔位于測(cè)試座蓋的相應(yīng)位置上，定位柱穿過定位孔，用于將底座和測(cè)試座蓋結(jié)合在一起，確保測(cè)試座蓋置于底座上不發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)試座，其特征在于，所述射源放置區(qū)位于定位柱的內(nèi)側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1、2、3或4所述的測(cè)試座，其特征在于，所述底座上具有凹陷的芯片放置區(qū)，在所述芯片放置區(qū)內(nèi)設(shè)置浮動(dòng)導(dǎo)向。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的測(cè)試座，其特征在于，所述浮動(dòng)導(dǎo)向包括浮動(dòng)板和彈簧片；

所述浮動(dòng)板為具有凹陷的絕緣板，用于將測(cè)試球柵陣列器件固定其凹陷內(nèi)；所述浮動(dòng)板的凹陷表面具有多個(gè)與測(cè)試針相對(duì)應(yīng)的測(cè)試針孔，用于底座上的測(cè)試針從所述孔內(nèi)穿出來，與測(cè)試球柵陣列器件的輸入輸出引腳電性連接；所述浮動(dòng)板的尺寸和形狀與芯片放置區(qū)相適配；

所述彈簧片連接芯片放置區(qū)的凹陷底部和浮動(dòng)板的下表面，且位于芯片放置區(qū)的內(nèi)部邊緣。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)試座，其特征在于，所述測(cè)試座蓋包括順次連接的旋轉(zhuǎn)頭、旋轉(zhuǎn)螺釘和固定端；

所述旋轉(zhuǎn)頭用于旋轉(zhuǎn)控制旋轉(zhuǎn)螺釘?shù)男M(jìn)和旋出，將壓力通過固定端傳遞給測(cè)試球柵陣列器件的輸入輸出引腳，實(shí)現(xiàn)與測(cè)試針的電性接觸。