[發(fā)明專利]壓電振動(dòng)器、電壓振動(dòng)器的制造方法、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010244271.3
• 申請(qǐng)日: 2010-07-23
• 公開（公告）號(hào): CN101964638A
• 公開（公告）日: 2011-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 福田純也
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工電子有限公司
• 主分類號(hào): H03H3/02
• 分類號(hào): H03H3/02;H03H9/02;H03H9/19;G04C9/02
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 何欣亭;徐予紅

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及在接合的兩塊基板之間形成的空腔內(nèi)密封了壓電振動(dòng)片的表面安裝型(SMD)的壓電振動(dòng)器、壓電振動(dòng)器的制造方法、具有壓電振動(dòng)器的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘。

背景技術(shù)

近年來，在便攜電話或便攜信息終端設(shè)備上，采用利用由水晶等的壓電材料構(gòu)成的壓電振動(dòng)片作為時(shí)刻源或控制信號(hào)的定時(shí)源、參考信號(hào)源等的壓電振動(dòng)器。作為壓電振動(dòng)片，采用具備一對(duì)振動(dòng)腕部的音叉型壓電振動(dòng)片。

作為這種壓電振動(dòng)器，眾所周知表面安裝型(SMD：Surface?Mount?Device)的壓電振動(dòng)器。

如圖17及圖18所示，作為表面安裝型的壓電振動(dòng)器200，提出用基底基板201和蓋基板202形成組裝件(package)209，并在組裝件209的內(nèi)部形成的空腔C收容壓電振動(dòng)片203的壓電振動(dòng)器。基底基板201和蓋基板202通過利用了形成在基底基板201并配置在兩基板間的接合膜207的陽(yáng)極接合來接合。

可是，壓電振動(dòng)器一般要求抑制等效電阻值(有效電阻值，Re)為低值。等效電阻值低的壓電振動(dòng)器可以用低電力來使壓電振動(dòng)片振動(dòng)，因此成為能量效率良好的壓電振動(dòng)器。

作為抑制等效電阻值的一般的方法之一，眾所周知如圖17及圖18所示那樣使密封壓電振動(dòng)片203的空腔C內(nèi)接近真空，從而降低與等效電阻值有比例關(guān)系的串聯(lián)諧振電阻值(R1)的方法。再者，作為使空腔C內(nèi)接近真空的方法，眾所周知在空腔C內(nèi)密封形成于基底基板201的由鋁等構(gòu)成的吸氣材料220，并從外部照射激光而將該吸氣材料220激活的方法(吸氣法)(參照下述專利文獻(xiàn)1)。依據(jù)該方法，通過成為激活狀態(tài)的吸氣材料220，能夠吸收陽(yáng)極接合時(shí)發(fā)生的氧，因此能夠使空腔C內(nèi)接近真空。此外，通過吸氣時(shí)照射激光來將吸氣材料220蒸發(fā)并加以除去，因此無(wú)法反復(fù)使相同位置的吸氣材料220吸氣。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2003-142976號(hào)公報(bào)

但是，在所述傳統(tǒng)壓電振動(dòng)器中，即使令吸氣材料的整個(gè)區(qū)域吸氣，也有不能將空腔內(nèi)的真空度提升到確保規(guī)定基準(zhǔn)的情形。這種真空度不滿足基準(zhǔn)的壓電振動(dòng)器成為不合格品。

于是為了解決該問題，考慮通過擴(kuò)大基底基板上的吸氣材料的形成區(qū)域，來增加吸氣材料可吸氣的次數(shù)。但是，基底基板除了形成吸氣材料以外，還需要例如壓電振動(dòng)片電連接的內(nèi)部電極等其它的構(gòu)成要素的形成區(qū)域，因此難將吸氣材料的形成區(qū)域擴(kuò)大到能消除上述問題的程度。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明考慮上述狀況構(gòu)思而成，其目的在于提供可確保空腔內(nèi)的真空度且能夠有效率地制造的壓電振動(dòng)器及其制造方法。

本發(fā)明為了解決上述課題提供以下的方案。

本發(fā)明的壓電振動(dòng)器，其特征在于包括：基底基板及蓋基板，以在該基底基板與蓋基板之間形成空腔的方式疊合；壓電振動(dòng)片，收容于所述空腔內(nèi)并與所述基底基板一側(cè)接合；吸氣材料，以收容于所述空腔內(nèi)的方式形成在所述基底基板；以及接合膜，形成在所述蓋基板中朝向所述基底基板一側(cè)的整個(gè)面，并在與所述基底基板接觸的部分接合兩基板，所述接合膜用通過照射激光來激活而可吸附周圍氣體的材料形成。

依據(jù)本發(fā)明，由于接合膜用通過照射激光來激活而可吸附周圍氣體的材料形成，通過對(duì)接合膜中位于空腔內(nèi)的部分照射激光而激活，吸附并吸氣空腔內(nèi)的氣體，從而能提高空腔內(nèi)的真空度。因而，不僅可以通過對(duì)吸氣材料照射激光來吸氣，而且也可以通過對(duì)接合膜照射激光來吸氣，與只有吸氣材料吸氣的情況相比，能夠確保空腔內(nèi)的真空度。

此外，能夠在不擴(kuò)大基底基板中吸氣材料的形成區(qū)域的情況下發(fā)揮這種作用效果。并且，將接合膜形成在蓋基板中朝向基底基板一側(cè)的整個(gè)面即可，因此與例如在蓋基板形成僅為了吸氣而使用的其它吸氣材料的情形相比，能夠有效率地制造該壓電振動(dòng)器。

此外，在所述吸氣材料及所述接合膜分別形成有同時(shí)被照射激光的第一激光照射疵痕也可。

這時(shí)，在該壓電振動(dòng)器中，通過對(duì)吸氣材料及接合膜同時(shí)照射激光而形成第一激光照射疵痕，能夠用一次的激光照射來發(fā)揮雙重吸氣效果。因而，能確保空腔內(nèi)的真空度，并能有效率地進(jìn)行吸氣。

此外，在所述空腔內(nèi)的接合膜中，從所述基底基板的法線方向來看不與所述吸氣材料重疊的位置，形成有第二激光照射疵痕也可。