[發明專利]壓電振動器、電壓振動器的制造方法、振蕩器、電子設備及電波鐘無效
| 申請號： | 201010244271.3 | 申請日： | 2010-07-23 |
| 公開（公告）號： | CN101964638A | 公開（公告）日： | 2011-02-02 |
| 發明（設計）人： | 福田純也 | 申請（專利權）人： | 精工電子有限公司 |
| 主分類號： | H03H3/02 | 分類號： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/19;G04C9/02 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;徐予紅 |
| 地址： | 日本千葉*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電 振動器 電壓 制造 方法 振蕩器 電子設備 電波 | ||
1.一種壓電振動器，其特征在于包括：
基底基板及蓋基板，以在該基底基板與蓋基板之間形成空腔的方式疊合；
壓電振動片，收容于所述空腔內并與所述基底基板一側接合；
吸氣材料，以收容于所述空腔內的方式形成在所述基底基板；以及
接合膜，形成在所述蓋基板中朝向所述基底基板一側的整個面，并在與所述基底基板接觸的部分接合兩基板，
所述接合膜用通過照射激光來激活而可吸附周圍氣體的材料形成。
2.如權利要求1所述的壓電振動器，其特征在于：在所述吸氣材料及所述接合膜分別形成有同時被照射激光的第一激光照射疵痕。
3.如權利要求2所述的壓電振動器，其特征在于：在所述空腔內的接合膜中，從所述基底基板的法線方向來看不與所述吸氣材料重疊的位置，形成有第二激光照射疵痕。
4.如權利要求1至3中任一項所述的壓電振動器，其特征在于：所述吸氣材料和所述接合膜用彼此不同的材料形成。
5.一種壓電振動器的制造方法，其特征在于，所述壓電振動器包括：
基底基板及蓋基板，以在該基底基板與蓋基板之間形成空腔的方式疊合；
壓電振動片，收容于所述空腔內并與所述基底基板一側接合；
吸氣材料，以收容于所述空腔內的方式形成在所述基底基板；以及
接合膜，形成在所述蓋基板中朝向所述基底基板一側的整個面，并在與所述基底基板接觸的部分接合兩基板，
所述接合膜用通過照射激光來激活而可吸附周圍氣體的材料形成，
所述壓電振動器的制造方法具備對所述吸氣材料及所述接合膜同時照射激光的第一吸氣工序。
6.如權利要求5所述的壓電振動器的制造方法，其特征在于：具備對從所述基底基板的法線方向來看所述空腔內的接合膜中不與所述吸氣材料重疊的位置照射激光的第二吸氣工序。
7.一種振蕩器，其特征在于：將權利要求1至4中任一項所述的壓電振動器作為振子電連接至集成電路。
8.一種電子設備，其特征在于：使權利要求1至4中任一項所述的壓電振動器與計時部電連接。
9.一種電波鐘，其特征在于：使權利要求1至4中任一項所述的壓電振動器與濾波部電連接。
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