[發明專利]一種精確控制離子注入分布均勻的方法

無效

• 申請號: 201010243088.1
• 申請日: 2010-08-02
• 公開（公告）號: CN102347194A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發明（設計）人: 伍三忠;唐景庭;孫勇;鐘新華
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;G05B19/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及離子注入機均勻性控制方法，涉及離子注入機，屬于半導體裝備制造領域。?

背景技術

離子注入機均勻性控制技術是離子注入機的關鍵技術之一，其工作原理是基于各種控制與測量方法和裝置將離子按設定的劑量均勻地、精確地注入到整個晶片表面，如水平方向與垂直方向都采用電掃描的方式，通過實時改變水平和垂直方向的掃描電壓的大小來改變束的水平移動速度和垂直移動速度，從而改變注入離子的分布密度；另一種方式就是束固定不動，通過控制晶片的二維機械運動來達到離子均勻地注入到晶片的表面。?

本發明提供了一種機械掃描與電掃描相結合的離子注入機均勻性控制方法，本控制方法體系結構簡單，測量與控制精確、可靠。?

發明內容

本發明涉及一種離子注入機均勻性控制方法。?

一種離子注入機均勻控制系統，包括多通道、多檔位束流與劑量精確采集功能、水平方向電掃描控制，垂直方向機械掃描運動控制，水平方向電掃描與垂直方向機械掃描同步方法。?

附圖說明

下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步介紹，但不作為對本發明專利的限定。?

圖1是離子注入劑量控制系統體系結構圖。?

圖2是位置同步信號時序圖。?

圖1中，離子注入劑量控制系統包括移動法拉第杯、閉環法拉第杯、采樣法拉第杯、劑量控制器、位置同步板、直線電機和NI?PXI測控系統。?

圖2中，P.E.Q1/P.E.Q2為直線電機和移動法拉第杯運動位置同步信號、P.E.Q為位置同步板產生的位置同步脈沖。?

具體實施方式

移動法拉第杯、閉環法拉第杯和采樣法拉第杯通過同軸電纜與劑量控制器相連，其中移動法拉第用于測量離子束剖面和水平方向束分布密度檢測，移動法拉第杯每移動一個等距離產生一個同步脈沖，此同步脈沖信號(P.E.Q2)通過位置同步板處理后送到劑量控制器，當劑量控制器檢測到此同步信號后，便響應束流采集中斷，采集移動法拉第杯的束流。兩個采樣法拉第杯用于測量離子束的角度和平行度。閉環法拉第杯用于注入機注入劑量的實時測量。?

劑量控制器通過一個SPI接口和三個硬件中斷IRQ1、IRQ2和IRQ3與NI實時測控系統相連，其中SPI接口用于劑量控制器與NI實時測控系統之間數據傳送，三個中斷信號用于三種實時性能要求高的事件觸發。?

位置同步板用于兩路位置同步信號(P.E.Q1和P.E.Q2)自動分時采集，產生一路同步脈沖輸出，當P.E.Q1或P.E.Q2出現一個上升沿信號，產一個50us寬的脈沖輸出信號(P.E.Q)。P.E.Q1為直線電機垂直掃描移動距離同步信號，即直線電機每移動一個等距離，P.E.Q1輸出電平發生一次翻轉，當P.E.Q1出現上升沿時，P.E.Q產生一個脈沖，觸發劑量控制器輸出一個“W”掃描波形。?

以上所述已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。?