[發明專利]一種精確控制離子注入分布均勻的方法

無效

• 申請號: 201010243088.1
• 申請日: 2010-08-02
• 公開（公告）號: CN102347194A
• 公開（公告）日: 2012-02-08
• 發明（設計）人: 伍三忠;唐景庭;孫勇;鐘新華
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;G05B19/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種離子注入機均勻性控制系統包括：移動法拉第杯、閉環法拉第杯、采樣法拉第杯、劑量控制器、位置同步板、直線電機和NI?PXI測控系統，其相互連結情況見圖1。

2.權利1所述的移動法拉第杯、閉環法拉第杯和采樣法拉第杯通過同軸電纜與劑量控制器相連，其中移動法拉第杯用于測量離子束剖面和水平方向束分布密度檢測，移動法拉第杯每移動一個等距離產生一個同步脈沖，此同步脈沖信號P.E.Q2通過位置同步板處理后送到劑量控制器，當劑量控制器檢測到此同步信號后，實時響應束流采集中斷，采集移動法拉第杯的束流。

3.權利1所述位置同步板用于兩路位置同步信號P.E.Q1和P.E.Q2自動分時采集，產生一路同步脈沖輸出，當P.E.Q1或P.E.Q2出現一個上升沿信號，位置同步板產一個50us寬的脈沖輸出信號P.E.Q。P.E.Q1為直線電機垂直掃描移動距離同步信號，即直線電機每移動一個等距離，P.E.Q1輸出電平發生一次翻轉，當P.E.Q1出現上升沿時，P.E.Q產生一個脈沖，觸發劑量控制器輸出一個“W”掃描波形，用于水平掃描與垂直掃描之間的同步。