[發明專利]切刀輪有效
| 申請號: | 201010242913.6 | 申請日: | 2010-07-30 |
| 公開(公告)號: | CN101987776A | 公開(公告)日: | 2011-03-23 |
| 發明(設計)人: | 前川和哉 | 申請(專利權)人: | 三星鉆石工業股份有限公司 |
| 主分類號: | C03B33/10 | 分類號: | C03B33/10 |
| 代理公司: | 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287 | 代理人: | 沈錦華 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 切刀輪 | ||
1.一種脆性材料基板用的切刀輪,其特征在于:沿著圓形的外周緣具有二段刃面,該刃面包括形成有成第一棱線角φ1的棱線的截面V字狀的第一刃面,及連接于第一刃面的根部側的第二刃面,
第二刃面形成為延長到第一刃面側時所形成的虛擬的第二棱線角φ2為小于第一棱線角φ1的角,
沿著第一刃面的棱線到達第二刃面的深度的槽周期性地形成,且
使第一刃面與第二刃面一同切入被加工基板而形成劃線。
2.根據權利要求1所述的切刀輪,其特征在于:
第一刃面的外徑D為1mm~10mm,且第一棱線角φ1為100°~160°。
3.根據權利要求2所述的切刀輪,其特征在于:
第二棱線角φ2為10°~90°,第二刃面的最小寬度W為2μm~200μm。
4.根據權利要求3所述的帶槽切刀輪,其特征在于:
所述槽的深度為2μm~50μm。
5.根據權利要求1所述的帶槽切刀輪,其特征在于:
所述第二刃面的最小寬度為2μm~200μm。
6.一種脆性材料基板的刻劃方法,其特征在于:
使權利要求1所述的切刀輪壓接在脆性材料基板的表面并轉動。
7.根據權利要求6所述的刻劃方法,其特征在于:
使所述切刀輪以切入方式壓接在脆性材料基板直至到達其第二刃面為止。
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