[發明專利]探針裝置

有效

• 申請號: 201010239072.3
• 申請日: 2010-07-23
• 公開（公告）號: CN101968501A
• 公開（公告）日: 2011-02-09
• 發明（設計）人: 久我智昭
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R31/00;G01R31/28;G09G3/00;G02F1/13
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本發明涉及用于液晶顯示面板那樣的平板狀被檢查體的通電試驗的探針裝置。

背景技術

一般而言，液晶顯示面板那樣的平板狀被檢查體利用采用探針單元那樣的探針裝置的檢查裝置即試驗裝置進行檢查即試驗。作為那樣的探針裝置之一，有專利文獻1和2記載的裝置。

專利文獻1記載的探針裝置包括：安裝在試驗裝置的主體框上的板狀的滑動基座；安裝在探針基座上的連結組件；能夠調整高度位置地懸掛于連結組件上的支承組件；探針組件(探針組裝體)，其是通過將多個探針支承于探針保持架上而形成的，且其被組裝在支承組件上。

在從探針保持架向上方突出的凸部插入到形成在支承組件上的凹部的狀態下，探針組件由一對螺紋構件安裝在支承組件上。由此，探針組件能相對于支承組件裝卸地被保持在支承組件上。

各探針包括：板狀的針中央區域；從針中央區域向前方一體延伸的前端區域；從前端針尖區域向下方突出的前端針尖；從針中央區域向后方一體延伸的后端區域；從后端區域向上方突出的后端針尖。這樣的探針在針中央區域的厚度方向為左右方向的狀態下，配置在探針保持架上。

探針組裝體除了探針和探針保持架之外，還包括：一對導桿，沿針中央區域的厚度方向貫穿針中央區域并延伸，兩端部被支承在探針保持架上；前端側槽桿，其支承在探針保持架上，具有為了收納前端針尖而在左右方向上隔開間隔地形成的多個槽；后端側槽桿，其支承在探針保持架上，具有為了收納后端針尖而在左右方向上隔開間隔地形成的多個槽。

在專利文獻1記載的探針裝置中，探針被一對導桿支承在探針保持架上。在那樣的探針裝置中，前端針尖和后端針尖被分別按壓于被檢查體的電極和陽極片那樣的布線片狀體的連接部上，在過驅動(overdrive)作用于各探針時，探針相對于探針保持架的位移量根據存在于各探針和導桿之間的間隙的大小而不同。

由于設計上和加工上所容許的公差，無法避免在探針和導桿之間形成上述那樣的間隙。其結果，前端針尖和被檢查體的電極之間的接觸以及后端針尖和布線片狀體的焊盤(land)之間的電接觸變得不穩定，無法進行準確的試驗即檢查。

為了解決上述的課題，在專利文獻2記載的探針裝置中，將上述的導桿作為定位銷，并且分別在各探針的針中央部的前端部和后端部設有朝向前方開放的日文コ字狀的第1和第2凹部，分別在設于前端側槽桿和組件片的后端部上的承重桿上設有向后方突出并嵌合在第1和第2凹部中的第1和第2凸部。

在專利文獻2記載的探針裝置中，通過將導桿作為定位銷、第1凹部與第1凸部嵌合以及第2凹部與第2凸部嵌合，降低在過驅動作用于各探針時的探針相對于組件片的位移量的差。

但是，在專利文獻2記載的探針裝置中，絲毫沒有公開將探針組件組裝到支承組件(滑動組件)上的組裝裝置。

此外，在專利文獻1記載的組裝裝置中，為了獲得更換探針、探針組件、連接片狀體、輔助組件等消耗品時的針尖位置的再現性，使用復雜的操作所需的止動件、多個凸部、多個柱塞、多個柱塞銷、多個壓縮螺旋彈簧等多個構件，所以不僅組裝裝置的形狀和構造變得復雜，而且消耗品的更換作業變繁雜。

專利文獻1：日本特開2004-191064號公報

專利文獻2：日本特開2009-115585號公報

發明內容

本發明的目的在于提供一種簡化組裝裝置的形狀和構造并且容易進行消耗品的更換作業的探針裝置。

本發明的探針裝置包括：支承組件；結合組件，其配置在該支承組件的下側；組裝裝置，其將上述結合組件組裝到上述支承組件的下側；探針組裝體，包括具有前端針尖和后端針尖的多個探針和配置有該探針的探針保持架，且上述探針以在左右方向上隔開間隔地沿前后方向延伸的狀態配置在上述探針保持架上，并組裝在上述結合組件的下側。

上述組裝裝置包括：凹部，其形成在上述結合組件和上述支承組件中的任一方上；連結構件，其嵌合在該凹部中；第1螺紋構件，其用于將該連結構件組裝到上述結合組件或上述支承組件上；第2螺紋構件，其沿上下方向貫穿上述連結構件，與上述結合組件和上述支承組件中的另一方螺紋配合。

上述凹部和上述連結構件能具有圓形或多邊形的橫截面形狀。

上述組裝裝置還包括：第2凹部，其形成在上述結合組件和上述支承組件中的上述任一方上，并且在由左右方向和前后方向形成的XY面內延伸，與形成在上述結合組件和上述支承組件中的上述任一方上的上述凹部連通；銷構件，其從上述連結構件在上述XY面內延伸，被收納在上述第2凹部中。