[發明專利]探針裝置

有效

• 申請號: 201010239072.3
• 申請日: 2010-07-23
• 公開（公告）號: CN101968501A
• 公開（公告）日: 2011-02-09
• 發明（設計）人: 久我智昭
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R31/00;G01R31/28;G09G3/00;G02F1/13
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種探針裝置，其特征在于，包括：支承組件；結合組件，其被配置在該支承組件的下側；組裝裝置，其用于將該結合組件組裝到上述支承組件的下側；探針組裝體，其包括具有前端針尖和后端針尖的多個探針和配置有該探針的探針保持架，且上述探針以在左右方向上隔開間隔地沿前后方向延伸的狀態配置在上述探針保持架上，并組裝在上述結合組件的下側，

上述組裝裝置包括：凹部，其形成于上述結合組件和上述支承組件中的任一方；連結構件，其嵌合在該凹部中；第1螺紋構件，其用于將該連結構件組裝到上述結合組件或上述支承組件上；第2螺紋構件，其沿上下方向貫穿上述連結構件而與上述結合組件和上述支承組件中的另一方螺紋配合。

2.根據權利要求1所述的探針裝置，

上述凹部和上述連結構件具有圓形或多邊形的橫截面形狀。

3.根據權利要求1所述的探針裝置，

上述組裝裝置還包括：第2凹部，其形成于上述結合組件和上述支承組件中的上述任一方，并且在由左右方向和前后方向形成的XY面內延伸，其與形成在上述結合組件和上述支承組件中的上述任一方的上述凹部連通；銷構件，其從上述連結構件在上述XY面內延伸，被收納在上述第2凹部中。

4.根據權利要求1所述的探針裝置，

上述組裝裝置還包括：第3凹部，其形成于上述連結構件和上述支承組件中的上述任一方，并且朝向上述連結構件和上述支承組件中的另一方側開放；第2銷構件，其從上述連結構件和上述支承組件中的另一方沿上下方向延伸，被收納在上述第3凹部中。

5.根據權利要求1所述的探針裝置，

上述結合組件在前端側具有朝向下方且配置有上述探針組裝體的臺階部，并且具有供上述連結構件嵌合的上述凹部，還具有供上述第2螺紋構件螺紋配合的內螺紋孔。

6.根據權利要求1所述的探針裝置，

上述凹部形成在上述結合組件上，上述連結構件由上述第1螺紋構件安裝在上述支承組件上，上述第1螺紋構件從上方向下方貫穿上述連結構件而與上述結合組件螺紋配合。

7.根據權利要求1所述的探針裝置，

該探針裝置還包括：

布線片狀體，其被配置在上述結合組件的下側，是使后端部向上述結合組件的上側折返而形成的，且在前端部的下表面具有多個連接部，并且具有從該連接部向后方延伸的多個第1布線；

連接組件，其被配置在上述結合組件的后端部與上述支承組件之間，并被安裝在上述結合組件或上述支承組件上；

連接片狀體，其以從該連接組件向后方延伸的狀態前端部安裝在上述連接組件的下側，并且具有向前后方向延伸的多個第2布線，各第2布線的前端部與上述第1布線接觸；

彈性體，其被配置在上述連接組件的下側且與上述第1和第2布線的接觸部相對應的部位。