[發明專利]玻璃基板搬運載具無效
| 申請號: | 201010237867.0 | 申請日: | 2010-07-23 |
| 公開(公告)號: | CN102339778A | 公開(公告)日: | 2012-02-01 |
| 發明(設計)人: | 黃信偉 | 申請(專利權)人: | 杜邦太陽能有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人: | 陳紅 |
| 地址: | 中國香港新界白石角香港科學園*** | 國省代碼: | 中國香港;81 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 玻璃 基板搬 運載 | ||
1.一種玻璃基板搬運載具,其特征在于,包含:
一基座;
一玻璃載臺,用以吸附一玻璃基板;
一升降裝置,設置于該基座與該玻璃載臺之間;
一翻轉機構,設置于該升降裝置與該玻璃載臺之間;
一旋轉機構,設置于該翻轉機構與該升降機構之間;以及
一伸縮機構,設置于該翻轉機構與該玻璃載臺之間。
2.如權利要求1所述的玻璃基板搬運載具,其特征在于,還包含一移動機構,設置于該基座上。
3.如權利要求1所述的玻璃基板搬運載具,其特征在于,該玻璃載臺還包含多個吸盤以及多個吸氣孔。
4.如權利要求1所述的玻璃基板搬運載具,其特征在于,該升降機構為一氣壓缸、一油壓缸,或一螺桿。
5.如權利要求1所述的玻璃基板搬運載具,其特征在于,該伸縮機構包含一軌道與一滑動件,該軌道延伸自該翻轉機構,該滑動件設置于該軌道上并相對于該軌道滑動,該滑動件與該玻璃載臺連接。
6.如權利要求1所述的玻璃基板搬運載具,其特征在于,還包含一太陽能電池,設置于該基座上。
7.如權利要求1所述的玻璃基板搬運載具,其特征在于,還包含一控制面板,以操控該玻璃基板搬運載具。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





