[發(fā)明專利]玻璃基板搬運載具無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010237867.0 | 申請日： | 2010-07-23 |
| 公開（公告）號： | CN102339778A | 公開（公告）日： | 2012-02-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 黃信偉 | 申請（專利權(quán)）人： | 杜邦太陽能有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006 | 代理人： | 陳紅 |
| 地址： | 中國香港新界白石角香港科學(xué)園*** | 國省代碼： | 中國香港;81 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 玻璃 基板搬 運載 | ||
1.一種玻璃基板搬運載具，其特征在于，包含：
一基座；
一玻璃載臺，用以吸附一玻璃基板；
一升降裝置，設(shè)置于該基座與該玻璃載臺之間；
一翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，設(shè)置于該升降裝置與該玻璃載臺之間；
一旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，設(shè)置于該翻轉(zhuǎn)機構(gòu)與該升降機構(gòu)之間；以及
一伸縮機構(gòu)，設(shè)置于該翻轉(zhuǎn)機構(gòu)與該玻璃載臺之間。
2.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板搬運載具，其特征在于，還包含一移動機構(gòu)，設(shè)置于該基座上。
3.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板搬運載具，其特征在于，該玻璃載臺還包含多個吸盤以及多個吸氣孔。
4.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板搬運載具，其特征在于，該升降機構(gòu)為一氣壓缸、一油壓缸，或一螺桿。
5.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板搬運載具，其特征在于，該伸縮機構(gòu)包含一軌道與一滑動件，該軌道延伸自該翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，該滑動件設(shè)置于該軌道上并相對于該軌道滑動，該滑動件與該玻璃載臺連接。
6.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板搬運載具，其特征在于，還包含一太陽能電池，設(shè)置于該基座上。
7.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板搬運載具，其特征在于，還包含一控制面板，以操控該玻璃基板搬運載具。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
