[發明專利]用于檢測器件封裝水氧滲透指標的方法及其檢測裝置

有效

• 申請號: 201010237106.5
• 申請日: 2010-07-27
• 公開（公告）號: CN101949813A
• 公開（公告）日: 2011-01-19
• 發明（設計）人: 蘇文明;崔錚;張東煜
• 申請（專利權）人: 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
• 主分類號: G01N15/08
• 分類號: G01N15/08
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 陳忠輝

1.用于檢測器件封裝水氧滲透指標的方法，其特征在于：

(1)、在石英晶振片的活性區真空沉積一層具活潑性的金屬膜；

(2)、將所述石英晶振片在隔絕空氣的情況下轉移到手套箱之中，所述手套箱內的水氧含量均低于0.1ppm；

(3)、在手套箱內將所述石英晶振片置入測試盒，并用器件封裝相同的結構及方法密封，所述器件封裝結構包括封裝薄膜、含水氧隔阻薄膜的基片和封裝連接處的固化封裝膠；

(4)、將測試盒與晶體振蕩器、晶控儀、電源相連構成石英微天平，接通電源，通過晶控儀感測石英晶振片的壓電效應及質量負荷效應，實時向微處理器輸出，計算得到金屬膜吸收入滲的水氧后增加的質量，進而計算得到單位時間內水氧滲透速率與已滲入的水氧總量。

2.根據權利要求1所述的用于檢測器件封裝水氧滲透指標的方法，其特征在于：步驟(1)中所述石英晶振片為適用于石英微天平的晶振片，晶振頻率在0.1MHz～55MHz之間；晶振電極的材質為金、銀、鋁中的一種。

3.根據權利要求1所述的用于檢測器件封裝水氧滲透指標的方法，其特征在于：步驟(1)中采用真空蒸鍍的方式在石英晶振片的活性區沉積具活潑性的金屬膜。

4.根據權利要求1或3所述的用于檢測器件封裝水氧滲透指標的方法，其特征在于：所述金屬膜是通過膜厚儀實時監控進行輔助控制厚度而真空沉積的。

5.用于檢測器件封裝水氧滲透指標的檢測裝置，其特征在于包括：測試盒，提供封裝結構進行水氧滲透指標檢測的腔體，所述測試盒設有腔體內鍍金屬膜的石英晶振片及腔壁上的晶振片連接口，所述晶振片連接口朝向測試盒腔體內側與石英晶振片的兩電極相連；并且所述石英晶振片通過晶振片連接口及導線與外部晶體振蕩器、晶控儀、電源連接形成石英微天平的回路，所述晶控儀的輸出端接微處理器。

6.根據權利要求5所述的用于檢測器件封裝水氧滲透指標的檢測裝置，其特征在于：所述金屬膜為具活潑性鈣、鎂、鈉、鍶、鉀、鋇、銫、釔、鑭、鐿、釤、鉺中任意一種或幾種形成的金屬薄膜，且薄膜厚度介于10nm～1000nm。