[發(fā)明專利]半導(dǎo)體器件的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010233605.7
• 申請(qǐng)日: 2010-07-19
• 公開（公告）號(hào): CN102024677A
• 公開（公告）日: 2011-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 橫澤薰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 瑞薩電子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00;H01L21/50
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 王茂華

1.一種半導(dǎo)體器件的制造方法，包括步驟：

(a)提供基礎(chǔ)構(gòu)件，該基礎(chǔ)構(gòu)件包括具有芯片安裝部分的器件區(qū)域和位于所述器件區(qū)域之外的外部框架部分；

(b)在步驟(a)之后，將第一標(biāo)識(shí)號(hào)碼置于所述基礎(chǔ)構(gòu)件的所述外部框架部分；(c)在步驟(b)之后，將半導(dǎo)體芯片安裝在所述基礎(chǔ)構(gòu)件的所述芯片安裝部分上；

(d)在步驟(c)之后，用樹脂密封該半導(dǎo)體芯片使得所述外部框架部分被暴露，并且形成密封體；以及

(e)在步驟(d)之后，讀取所述第一標(biāo)識(shí)號(hào)碼，并將出自存儲(chǔ)在服務(wù)器上的多條服務(wù)器內(nèi)信息的、與所述讀取的第一標(biāo)識(shí)號(hào)碼對(duì)應(yīng)的第一服務(wù)器內(nèi)信息，置于所述密封體，作為第二標(biāo)識(shí)號(hào)碼。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中步驟(c)包括步驟：將所述基礎(chǔ)構(gòu)件傳送到第一設(shè)備，利用在所述第一設(shè)備中提供的第一識(shí)別裝置讀取所述第一標(biāo)識(shí)號(hào)碼，從存儲(chǔ)在所述服務(wù)器上的多條服務(wù)器內(nèi)信息取出與所述讀取的第一標(biāo)識(shí)號(hào)碼對(duì)應(yīng)的所述第一服務(wù)器內(nèi)信息，通過(guò)將該第一服務(wù)器內(nèi)信息與在步驟(c)的制造條件相關(guān)聯(lián)校正該第一服務(wù)器內(nèi)信息，以及將這樣校正過(guò)的第一服務(wù)器內(nèi)信息存儲(chǔ)到所述服務(wù)器中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中步驟(d)包括步驟：將所述基礎(chǔ)構(gòu)件傳送到第二設(shè)備，利用在所述第二設(shè)備中提供的第二攝像機(jī)讀取所述第一標(biāo)識(shí)號(hào)碼，從存儲(chǔ)在所述服務(wù)器上的多條服務(wù)器內(nèi)信息取出與所述讀取的第一標(biāo)識(shí)號(hào)碼對(duì)應(yīng)的所述第一服務(wù)器內(nèi)信息，通過(guò)將該第一服務(wù)器內(nèi)信息與在步驟(d)的制造條件相關(guān)聯(lián)校正該第一服務(wù)器內(nèi)信息，以及將這樣校正過(guò)的第一服務(wù)器內(nèi)信息存儲(chǔ)到所述服務(wù)器中。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其中步驟(e)包括步驟：將所述基礎(chǔ)構(gòu)件傳送到第三設(shè)備，利用在所述第三設(shè)備中提供的第三攝像機(jī)讀取所述第一標(biāo)識(shí)號(hào)碼，以及將出自存儲(chǔ)在所述服務(wù)器上的多條服務(wù)器內(nèi)信息的、與所述讀取的第一標(biāo)識(shí)號(hào)碼對(duì)應(yīng)的所述第一服務(wù)器內(nèi)信息，置于所述密封體，作為所述第二標(biāo)識(shí)號(hào)碼。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中在步驟(e)中不僅所述第二標(biāo)識(shí)號(hào)碼，還有產(chǎn)品信息被置于密封體。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中在步驟(e)之后在基礎(chǔ)構(gòu)件的表面上形成鍍層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中所述第一和第二標(biāo)識(shí)號(hào)碼每個(gè)都通過(guò)用激光做標(biāo)記而形成。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中不同于所述第一標(biāo)識(shí)號(hào)碼的信息被存儲(chǔ)在所述第二標(biāo)識(shí)號(hào)碼中。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中第一和第二標(biāo)識(shí)號(hào)碼每個(gè)都是二維條形碼。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述基礎(chǔ)構(gòu)件包括引線框架。

11.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，

其中所述基礎(chǔ)構(gòu)件包括布線襯底，并且

其中在步驟(b)之后并在步驟(c)之前清潔所述布線襯底的表面。