[發明專利]糊劑涂敷裝置

有效

• 申請號: 201010232046.8
• 申請日: 2010-07-16
• 公開（公告）號: CN101954329A
• 公開（公告）日: 2011-01-26
• 發明（設計）人: 平岡晃
• 申請（專利權）人: 芝浦機械電子裝置股份有限公司
• 主分類號: B05B13/04
• 分類號: B05B13/04;B05B15/08
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;呂俊剛

技術領域

本發明涉及一種糊劑涂敷裝置，其具有與載置在工作臺上的基板相對配置并朝上述基板表面噴出糊劑的糊劑噴出機構，將來自該糊劑噴出機構的糊劑涂敷在上述基板表面的預定部位。

背景技術

以往提出有如下的糊劑涂敷裝置：其具有分配器(糊劑噴出機構)，該分配器包括安裝在相對于工作臺進行升降移動的升降頭處、收納糊劑并噴出該糊劑的噴嘴，該糊劑涂敷裝置將來自噴嘴的糊劑涂敷于載置在上述工作臺上的基板表面(參見專利文獻1)。該糊劑涂敷裝置還具有激光傳感器(距離檢測單元)，該激光傳感器在與從噴嘴噴出的糊劑的涂敷位置具有預定的附近位置關系的測定位置上測定上述分配器的噴嘴與基板表面之間的距離。而且，以通過上述激光傳感器測定的上述噴嘴與基板表面的距離值為恒定值(目標值)的方式使升降頭進行升降移動，并且將從噴嘴噴出的糊劑涂敷于基板表面。

采用這種糊劑涂敷裝置，即使載置于工作臺上的基板表面的垂直方向位置由于工作臺的凹凸和基板的翹曲等而發生局部變動，也能將噴出糊劑的噴嘴末端與基板表面之間的距離保持為恒定。其結果可防止糊劑的寬度和高度的增減和斷續，能以更均勻的狀態進行糊劑涂敷。

然而，有時會在待涂敷糊劑的基板表面上形成有級差。例如在有機EL顯示元件的制造工序中，在形成于密封基板表面上的溝部涂敷有作為糊劑的干燥劑(參見專利文獻2)。通過將如上在溝部涂敷有干燥劑的密封基板與陣列基板貼合起來，從而形成去除了內部濕氣的狀態下的有機EL元件。

【專利文獻1】日本特開2007-222762號公報

【專利文獻2】日本特開2008-146992號公報

然而，在上述有機EL顯示元件的情況下，在對表面形成有由上側面(溝部的外側面)與下側面(溝部的底面)引起的級差的基板的該表面上涂敷糊劑時，可考慮到使用能夠將上述(參見專利文獻1)噴嘴與基板之間的距離保持為恒定的糊劑涂敷裝置。但是，在該糊劑涂敷裝置中，由于糊劑的涂敷位置同待測定噴嘴與基板表面之間的距離的測定位置處于附近位置關系，而并不一致，因此在對上述級差的下側面涂敷糊劑時，該測定位置有時會成為級差的上側面。這種情況下，由于無法正確測定出噴嘴與待涂敷糊劑的基板表面之間的距離，因而不能將噴嘴與基板表面之間的距離保持為恒定，反而無法準確涂敷糊劑。

發明內容

本發明就是鑒于這種情況而完成的，其目的在于提供一種能夠準確地將糊劑涂敷在表面形成有級差的基板的該表面上的糊劑涂敷裝置。

本發明涉及的糊劑涂敷裝置構成為具有與載置于工作臺上的基板相對配置并向上述基板表面噴出糊劑的噴嘴，該糊劑涂敷裝置將來自該噴嘴的糊劑按照預先設定的圖案涂敷在上述基板的表面，該糊劑涂敷裝置具有：垂直移動機構，其使上述噴嘴在垂直于上述基板表面的方向上相對于該基板進行相對移動；距離檢測單元，其在與涂敷位置具有鄰近的位置關系的測定位置上檢測到達上述基板表面的距離，該涂敷位置是與上述噴嘴相對的上述基板上的位置；控制單元，其根據上述距離檢測單元的檢測值來控制上述垂直移動機構，調整上述噴嘴的末端與上述基板之間的間隔；以及存儲單元，其在向表面形成有上側面與下側面的級差的基板上涂敷糊劑的情況下，存儲作為上述上側面與上述下側面之間的高低差的深度值，上述控制單元在將上述糊劑按上述設定的圖案涂敷在上述基板上的過程中，當上述測定位置處于上述上側面與上述下側面中與上述涂敷位置不同的面上時，根據存儲于上述存儲單元中的上述深度值，控制基于上述距離檢測單元的檢測值的上述垂直移動機構的移動量。

通過該構成，在按照預先設定的圖案對表面形成有上側面和下側面的級差的基板涂敷糊劑的情況下，當測定位置處于上述上側面與上述下側面中與上述涂敷位置不同的面上時，控制單元根據存儲單元所存儲的作為上側面與下側面之間的高低差的深度值，控制基于上述距離檢測單元的檢測值的上述垂直移動機構的移動量。由此，能夠將噴嘴與待涂敷糊劑的基板之間的間隔保持為恒定。

上述深度值既能使用固定值，也能根據噴嘴的各位置而不同。在后一種情況下，本發明涉及的糊劑涂敷裝置可以構成為，上述存儲單元與沿著待涂敷于上述基板上的上述圖案的軌跡的各位置對應起來，存儲該位置處的、上述涂敷位置所在的上述基板的表面與上述測定位置所在的上述基板的表面之間的級差的深度值，上述控制單元在上述糊劑噴出機構處于存儲在上述存儲單元中的位置時，對應于該位置，根據存儲于上述存儲單元中的深度值來控制上述垂直移動機構。