[發(fā)明專利]糊劑涂敷裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010232046.8
• 申請日: 2010-07-16
• 公開（公告）號: CN101954329A
• 公開（公告）日: 2011-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 平岡晃
• 申請（專利權(quán)）人: 芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司
• 主分類號: B05B13/04
• 分類號: B05B13/04;B05B15/08
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;呂俊剛

1.一種糊劑涂敷裝置，其具有與載置于工作臺上的基板相對配置并向上述基板的表面噴出糊劑的噴嘴，該糊劑涂敷裝置將來自該噴嘴的糊劑按預(yù)先設(shè)定的圖案涂敷在上述基板的表面上，其中，該糊劑涂敷裝置具有：

垂直移動機(jī)構(gòu)，其使上述噴嘴在與上述基板的表面垂直的方向上相對于該基板進(jìn)行相對移動；

距離檢測單元，其在相對于涂敷位置為鄰近位置關(guān)系的測定位置上檢測距上述基板的表面的距離，該涂敷位置是上述基板上的與上述噴嘴相對的位置；

控制單元，其根據(jù)上述距離檢測單元的檢測值來控制上述垂直移動機(jī)構(gòu)，調(diào)整上述噴嘴的末端與上述基板之間的間隔；以及

存儲單元，其在向表面形成有上側(cè)面與下側(cè)面的級差的基板涂敷糊劑的情況下，存儲作為上述上側(cè)面與上述下側(cè)面之間的高低差的深度值，

上述控制單元在將上述糊劑按上述設(shè)定的圖案涂敷在上述基板上的過程中，當(dāng)上述測定位置處于上述上側(cè)面與上述下側(cè)面中與上述涂敷位置不同的面上時(shí)，根據(jù)存儲于上述存儲單元中的上述深度值，控制上述垂直移動機(jī)構(gòu)的基于上述距離檢測單元的檢測值的移動量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的糊劑涂敷裝置，其中，上述存儲單元與沿著待涂敷到上述基板上的上述圖案的軌跡的各位置相對應(yīng)地，存儲該位置處的、上述涂敷位置所在的上述基板的表面與上述測定位置所在的上述基板的表面之間的級差的深度值，

上述控制單元在上述噴嘴處于存儲于上述存儲單元中的位置時(shí)，對應(yīng)于該位置，根據(jù)存儲于上述存儲單元中的深度值來控制上述垂直移動機(jī)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的糊劑涂敷裝置，其中，上述控制單元具有根據(jù)上述深度值對由上述距離檢測單元獲得的檢測值進(jìn)行校正的校正單元，該控制單元利用上述校正后的檢測值來控制上述垂直移動機(jī)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的糊劑涂敷裝置，其中，上述控制單元以由上述距離檢測單元獲得的檢測值成為預(yù)先設(shè)定的目標(biāo)值的方式控制上述垂直移動機(jī)構(gòu)，

上述控制單元還具有根據(jù)上述深度值校正上述目標(biāo)值的校正單元，該控制單元以由上述距離檢測單元獲得的檢測值成為上述校正后的目標(biāo)值的方式控制上述垂直移動機(jī)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的糊劑涂敷裝置，其中，上述控制單元根據(jù)由上述距離檢測單元獲得的檢測值與預(yù)先設(shè)定的目標(biāo)值之間的差值來控制上述垂直移動機(jī)構(gòu)，

上述控制單元還具有根據(jù)上述深度值校正上述差值的校正單元，該控制單元根據(jù)該校正后的差值來控制上述垂直移動機(jī)構(gòu)。