[發明專利]供液系統、供液方法及涂布裝置

在審

• 申請號: 201010229593.0
• 申請日: 2010-07-13
• 公開（公告）號: CN102039258A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發明（設計）人: 古川正;五十嵐昭彥
• 申請（專利權）人: 大日本印刷株式會社
• 主分類號: B05C11/10
• 分類號: B05C11/10;B05C11/11;B05C5/00
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種供液系統，用于向涂布裝置的涂布部供給液體，其特征在于，具備：

儲存部，用于儲存液體；

第1流道；

第2流道，與所述儲存部連接，用于向所述儲存部供給液體；

第3流道，與所述儲存部連接，用于向所述儲存部供給氣體；

第4流道，與所述儲存部以及所述涂布部連接，用于自所述儲存部向所述涂布部供給液體；

所述第1流道、所述第2流道能夠可拆卸地連接規定容器，所述第1流道能夠向連接的所述規定容器供給氣體。

2.如權利要求1所述的供液系統，其特征在于，所述儲存部具有用于將儲存部內部向大氣開放的大氣開放構件；

在所述第1、第2、第3、第4流道中設置有用于開閉各流道的開閉構件。

3.如權利要求1所述的供液系統，其特征在于，所述儲存部設置有用于檢測液面高度的液面檢測構件。

4.如權利要求1所述的供液系統，其特征在于，還具備能夠可拆卸地連接所述規定容器的容器連接部，

所述第1流道、所述第2流道能夠通過所述容器連接部連接所述規定容器。

5.如權利要求4所述的供液系統，其特征在于，所述容器連接部在內周面具有內螺紋，通過所述內螺紋與設置在所述規定容器的開口部外周面的外螺紋螺合，能夠連接所述容器連接部和所述規定容器。

6.如權利要求1所述的供液系統，其特征在于，所述第1流道向連接的所述規定容器內供給氣體，使所述規定容器內的壓力在5kPa至100kPa的范圍。

7.如權利要求1所述的供液系統，其特征在于，所述涂布裝置用于制造半導體裝置或液晶顯示裝置。

8.一種供液方法，所述供液方法使用供液系統并用于向涂布裝置的涂布部供給液體，所述供液系統具備用于儲存液體的儲存部；第1流道；與所述儲存部連接，用于向所述儲存部供給液體的第2流道；與所述儲存部連接，用于向所述儲存部供給氣體的第3流道；與所述儲存部以及涂布裝置的涂布部連接，用于自所述儲存部向所述涂布部供給液體的第4流道；所述第1流道、所述第2流道能夠可拆卸地連接規定容器，所述第1流道能夠向連接的所述規定容器供給氣體，其特征在于，具有

儲存部供液工序，即利用通過所述第1流道供給的氣體對與所述第1流道、所述第2流道連接的所述規定容器內加壓，通過所述第2流道向所述儲存部內供給所述規定容器內的液體；

涂布部供液工序，即利用通過所述第3流道供給的氣體加壓所述儲存部內部，通過所述第4流道向所述涂布部供給所述儲存部內的液體。

9.一種涂布裝置，其特征在于，具備如權利要求1至7中的任一項所述的供液系統。