[發明專利]供液系統、供液方法及涂布裝置

在審

• 申請號: 201010229593.0
• 申請日: 2010-07-13
• 公開（公告）號: CN102039258A
• 公開（公告）日: 2011-05-04
• 發明（設計）人: 古川正;五十嵐昭彥
• 申請（專利權）人: 大日本印刷株式會社
• 主分類號: B05C11/10
• 分類號: B05C11/10;B05C11/11;B05C5/00
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

技術領域

本發明涉及供液系統、供液方法及涂布裝置。更詳細而言，涉及對涂布裝置的涂布部進行供液的供液系統，使用該供液系統的供液方法以及具備該供液系統的涂布裝置。

背景技術

在半導體或液晶顯示裝置的制造工序中，為了供給抗蝕劑或顏料分散液等藥液，廣泛使用將用于包含藥液的袋狀襯墊(liner)裝入金屬容器內，并向該襯墊內填充藥液的系統。該系統是向襯墊和外側的金屬容器的空隙中導入用于加壓輸送液體的氣體，該壓力使襯墊收縮，然后通過管子加壓輸送液體，由于所含藥液被襯墊覆蓋，所以加壓用氣體與藥液表面不直接接觸，具有能夠防止在加壓環境下氣體向所含的液體中浸透并被吸收的優點。上述襯墊及金屬容器的例子示于專利文獻1。

上述優點對于不利用自由基聚合的正性抗蝕劑(含有酚醛清漆樹脂和重氮基萘醌的抗蝕劑等)特別有利。另一方面，對于含有光聚合引發劑等的負性用光致抗蝕劑等而言，在保存過程中藥液中的單體或低聚物在熱能的作用下產生自由基并發生聚合(暗反應)，所以，通過使含有氧的氣體溶存或者在藥液容器上部將與抗蝕劑液體接觸的空氣層確保在規定體積，使由包含在空氣中的氧產生的自由基失活，從而阻礙暗反應，提高保存穩定性。

因此，利用與空氣接觸少的向襯墊中的密閉填充無法充分得到上述效果，不能說是利用自由基聚合反應的光致抗蝕劑的最佳保存狀態。

另外，在應用方面，雖然可以通過清掃或清洗包裝容器、替換使用過的襯墊或管子來實現包裝容器的再利用，但是產生采購包裝容器的初期導入費用和襯墊或管子消耗部件的替換或購買費用，并且，由于包裝容器的清洗、輸送需要一段時間等，所以為了穩定地應用，必須預先準備多于實際容器使用數量的庫存，因此存在經濟性問題。

另外，為了保持藥液的質量，多數情況下難以再利用使用過的襯墊或管子，而成為廢棄物。附著在襯墊等上的抗蝕劑或用于襯墊等的特氟龍(注冊商標)原料難以再回收，再回收效率降低。

因此，考慮將藥液裝入圓桶(drum)或淺罐(pale?can)等金屬制容器中，適合用于供給藥液。即，向裝有藥液的容器內導入氣體，然后加壓藥液，通過虹吸管的虹吸效應輸送藥液。該容器由于是金屬，所以容易再回收。但是，存在輸送時等的耐沖擊或外力導致的凹陷等變形、損傷、內容物泄漏的擔心，并且難以處理。此外，用于保護容器的包裝等導致廢棄物數量的增加。

針對上述情況，有時將藥液裝入樹脂制容器中，同樣地適用于供給藥液。適用于樹脂制容器的藥液供給系統與使用襯墊的類型相比，變動費可控制在低廉的水準，清潔的樹脂制容器也容易從市售品得到。進一步的與金屬制容器等比較，還具有彈性，所以在防止因掉落等沖擊引起的來自外部的損傷方面是優良的。另外，如果使用聚乙烯等制作樹脂制容器，通過使用過的容器的材料再回收或熱再生循環(thermal?recycle)，能夠降低環境負荷。

在制造半導體或液晶顯示裝置時，為了防止異物等導致的產率降低，通常在向噴出泵等噴出部一側輸送藥液的配管管路中設置過濾器。用于除去聚集粒子或凝膠狀異物等的過濾器，例如可以單獨使用或并用加工成褶皺狀或圓盤狀的厚網過濾器或膜過濾器、纖維過濾器等(孔徑為0.1～10μm左右)。另外，為了除去藥液中由溶存氣體產生的微泡之類的微小氣泡，有時也設置脫氣組件(例如日東電工社制的NITOSEP(注冊商標)等)。

但是，在管路上設置過濾器有時導致產生壓力損失、低壓輸送時輸送力不足。在上述情況下，為了利用虹吸效應向噴出部一側輸送藥液，必須以壓力損失以上的力擠出藥液或在噴出部等進行抽吸。但是，由于前者的情況下，必需高壓力，后者的情況下配管管路內由于成為負壓狀態，其為藥液中的溶存氣體發泡，并產生微泡的原因之一，或者有可能由抽吸的負荷造成泵或其發動機零件等劣化、損傷。

因此，考慮到輸液配管管路內的壓力損失，有時采取下述方法，即向藥液容器內的藥液施加適當的必需壓力后通過虹吸管等加壓輸送，由此降低抽吸時的負壓引起的溶存氣體的發泡或泵等的負荷。

但是，為了在所希望的時間得到必需的藥液供給量，有必要向藥液容器內的藥液施加相應于其供給速度的壓力，越是單位時間的藥液供給量多的系統，為了提高供給速度，越有必要施加更高的壓力。

制造液晶顯示裝置等時，近年來伴隨樣品玻璃(mother?glass)的大型化，用于處理每一張基板的藥液量也增加，因此多數情況下以較高的壓力輸送。

[專利文獻1]特開2008-007153號公報

發明內容