[發(fā)明專利]一種載板定位裝置及定位方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010220364.2
• 申請日: 2010-06-28
• 公開（公告）號: CN102299196A
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發(fā)明（設計）人: 楊斌
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明;王寶筠

技術領域

本發(fā)明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種載板定位裝置及定位方法。

背景技術

在制造太陽能電池時，利用如圖1a所示的太陽能PECVD(Plasma-enhanced?Chemical?Vapor?Deposition，等離子體增強化學氣相沉積)設備，首先在裝卸載區(qū)1將多個電池片放置在一個大的載板上，然后將載板連通電池片通過載板升降臺2和傳輸線傳入工藝腔3中進行工藝，工藝完成后再將載板通過載板升降臺4和返回線5傳輸回裝卸載區(qū)1，將已工藝的電池片卸下，裝載新的電池片，重復上述流程。在大規(guī)模生產時，就需要自動裝卸載設備對載板上的電池片進行裝卸載。

在自動裝卸載設備工作時，首先對載板進行定位，然后通過機械手將電池片放入載板上設定的格子中，載板的結構如圖1b所示。自動裝卸載設備能否將電池片準確放入載板的格子之中，在很大程度上取決于載板定位是否準確，如果不能精確定位載板，即使機械手的精度再高，也無法將電池片放到指定的位置，而這直接影響后續(xù)對電池片的處理結果，因此，載板的定位裝置至關重要。

現(xiàn)有技術中，如圖2所示，載板定位裝置包括A、B、C三組定位汽缸，每組各有兩個汽缸，三組定位汽缸依次位于載板的三個側邊處，每組的兩個汽缸之間設有一定的間距。在載板到達裝卸載區(qū)后，A組中的汽缸A1、A2將載板推動到載板所在平面的X方向的特定位置，然后，B組中的汽缸B1、B2在載板所在平面的Y方向推動載板，最后C組的小推力氣缸C1、C2將載板抱緊。其中，X、Y方向為載板所在平面的相互垂直的兩個方向，X方向即圖2中水平向右的方向。

然而上述定位裝置在很多情況下仍然無法對載板進行準確定位。例如，載板位置與氣缸推力、載板的材質有較大關系，當氣缸A1、A2推動不同質量的載板到X方向的指定位置后，由于各載板慣性不同，載板繼續(xù)沿X方向運動的距離就會有差別。而且，當載板與汽缸A1、A2接觸時，摩擦力的作用使得氣缸B1、B2推動時受到的力不同，導致B2伸出，但B1無法完全伸出，而C組氣缸推力較小，無法糾正載板位置，這時，載板會逆時針旋轉。

因此，現(xiàn)在急需一種載板定位裝置可以提高對載板定位的準確度。

發(fā)明內容

本發(fā)明實施例提供一種載板定位裝置及定位方法，能夠提高對載板定位的準確度。

為了解決上述技術問題，本發(fā)明實施例的技術方案如下：

一種載板定位裝置，包括至少兩組用于定位載板的汽缸，其中，第一組汽缸靠近所述載板的第一側邊，第二組汽缸靠近所述載板的第二側邊，所述第一側邊與所述第二側邊相對，所述第二組汽缸具有第一定位附件，所述第一定位附件與所述載板第二側邊上的第二定位附件相匹配。

進一步，所述第二組汽缸上的第一定位附件為定位柱，所述載板第二側邊上的第二定位附件為朝向所述載板內部凹陷的槽口，所述定位柱與所述槽口相匹配。

進一步，所述第二組汽缸上的第一定位附件為朝向所述第二組汽缸凹陷的槽口，所述載板第二側邊上的第二定位附件為定位柱，所述定位柱與所述槽口相匹配。

進一步，所述定位柱的形狀為圓柱形，所述槽口的形狀為半圓形。

進一步，所述第一組汽缸包括一個汽缸。

進一步，所述第一組汽缸位于所述第一側邊的中間位置，且所述第一組汽缸的寬度大于等于所述第一側邊的1/3。

進一步，所述第二組汽缸包括兩個汽缸，所述兩個汽缸設置在所述第二側邊的兩端處。

進一步，所述第二組汽缸上還具有用于根據(jù)對標識物的檢測確定載板定位結果的接近傳感器，所述標識物位于所述第二側邊上的第二定位附件處。

一種載板定位方法，包括：

載板定位裝置的第一組汽缸靠近載板的第一側邊，推動所述載板至所述載板的第二側邊靠近所述載板定位裝置的第二組汽缸，其中，所述第一側邊與第二側邊相對；

當所述第二組汽缸上的第一定位附件與所述載板第二側邊上的第二定位附件相配合時，完成所述載板的定位。

進一步，所述第二組汽缸上的第一定位附件與所述載板第二側邊上的第二定位附件相配合，具體為：

所述第二組汽缸上的圓柱形定位柱卡入所述載板第二側邊上的半圓形槽口中。

進一步，還包括：

當所述第二組汽缸上的接近傳感器檢測到標識物時，完成所述載板的定位，所述標識物位于所述第二側邊上的第二定位附件處。

進一步，還包括：

當所述第二組汽缸上的接近傳感器檢測不到所述標識物時，發(fā)出警報。