[發明專利]一種載板定位裝置及定位方法

無效

• 申請號: 201010220364.2
• 申請日: 2010-06-28
• 公開（公告）號: CN102299196A
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發明（設計）人: 楊斌
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明;王寶筠

1.一種載板定位裝置，其特征在于，包括至少兩組用于定位載板的汽缸，其中，第一組汽缸靠近所述載板的第一側邊，第二組汽缸靠近所述載板的第二側邊，所述第一側邊與所述第二側邊相對，所述第二組汽缸具有第一定位附件，所述第一定位附件與所述載板第二側邊上的第二定位附件相匹配。

2.根據權利要求1所述的載板定位裝置，其特征在于，所述第二組汽缸上的第一定位附件為定位柱，所述載板第二側邊上的第二定位附件為朝向所述載板內部凹陷的槽口，所述定位柱與所述槽口相匹配。

3.根據權利要求1所述的載板定位裝置，其特征在于，所述第二組汽缸上的第一定位附件為朝向所述第二組汽缸凹陷的槽口，所述載板第二側邊上的第二定位附件為定位柱，所述定位柱與所述槽口相匹配。

4.根據權利要求2或3所述的載板定位裝置，其特征在于，所述定位柱的形狀為圓柱形，所述槽口的形狀為半圓形。

5.根據權利要求1至3中任意一項所述的載板定位裝置，其特征在于，所述第一組汽缸包括一個汽缸。

6.根據權利要求5所述的載板定位裝置，其特征在于，所述第一組汽缸位于所述第一側邊的中間位置，且所述第一組汽缸的寬度大于等于所述第一側邊的1/3。

7.根據權利要求1至3中任意一項所述的載板定位裝置，其特征在于，所述第二組汽缸包括兩個汽缸，所述兩個汽缸設置在所述第二側邊的兩端處。

8.根據權利要求1所述的載板定位裝置，其特征在于，所述第二組汽缸上還具有用于根據對標識物的檢測確定載板定位結果的接近傳感器，所述標識物位于所述第二側邊上的第二定位附件處。

9.一種載板定位方法，其特征在于，包括：

載板定位裝置的第一組汽缸靠近載板的第一側邊，推動所述載板至所述載板的第二側邊靠近所述載板定位裝置的第二組汽缸，其中，所述第一側邊與第二側邊相對；

當所述第二組汽缸上的第一定位附件與所述載板第二側邊上的第二定位附件相配合時，完成所述載板的定位。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述第二組汽缸上的第一定位附件與所述載板第二側邊上的第二定位附件相配合，具體為：

所述第二組汽缸上的圓柱形定位柱卡入所述載板第二側邊上的半圓形槽口中。

11.根據權利要求9或10所述的方法，其特征在于，還包括：

當所述第二組汽缸上的接近傳感器檢測到標識物時，完成所述載板的定位，所述標識物位于所述第二側邊上的第二定位附件處。

12.根據權利要求11所述的方法，其特征在于，還包括：

當所述第二組汽缸上的接近傳感器檢測不到所述標識物時，發出警報。