[發(fā)明專利]采用電沉積制備氟化鍶或稀土摻雜氟化鍶薄膜的方法無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201010220120.4 | 申請(qǐng)日： | 2010-07-06 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101892504A | 公開（公告）日： | 2010-11-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉潤;王輝;陳科立;徐鑄德 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 浙江大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | C25D9/04 | 分類號(hào)： | C25D9/04;C30B29/12;C30B30/02 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200 | 代理人： | 張法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用電 沉積 制備 氟化 稀土 摻雜 薄膜 方法 | ||
1.一種采用電沉積制備氟化鍶薄膜的方法，其特征在于包括如下步驟：
1)用丙酮清洗ITO導(dǎo)電玻璃2～3次，再用去離子水將ITO導(dǎo)電玻璃放在超聲波清洗器里清洗10～30分鐘，接著將ITO導(dǎo)電玻璃放在10％的硝酸溶液中活化10～30秒，最后用去離子水清洗，待用；
2)0.01～0.5摩爾/升的乙二胺四乙酸二鈉與鍶離子配合物溶液中，加入0.02～1摩爾/升的抗壞血酸鈉，再加入0.04～2摩爾/升的氟化銨溶液，調(diào)節(jié)溶液PH值為6～9，得到電解液，待用；
3)以ITO導(dǎo)電玻璃為工作電極，鉑電極為對(duì)電極，甘汞電極為參比電極組成三電極體系，置于電解液中進(jìn)行電沉積，相對(duì)于甘汞電極的陽極沉積電位為0.8V～1.4V，沉積溫度為25～50℃，得到氟化鍶薄膜。
2.一種采用電沉積制備稀土摻雜氟化鍶薄膜的方法，其特征在于包括如下步驟：
1)用丙酮清洗ITO導(dǎo)電玻璃2～3次，再用去離子水將ITO導(dǎo)電玻璃放在超聲波清洗器里清洗10～30分鐘，接著將ITO導(dǎo)電玻璃放在10％的硝酸溶液中活化10～30秒，最后用去離子水清洗，待用；
2)0.01～0.5摩爾/升的氯化鍶溶液中加入0.0002～0.05摩爾/升的硝酸銪或硝酸鋱，加入0.0102～0.55摩爾/升的乙二胺四乙酸二鈉，形成配合物溶液，加入0.02～1摩爾/升的抗壞血酸鈉，再加入0.04～2摩爾/升的氟化銨溶液，調(diào)節(jié)溶液PH值為6～9，得到電解液，待用；
3)以ITO導(dǎo)電玻璃為工作電極，鉑電極為對(duì)電極，甘汞電極為參比電極組成三電極體系，置于電解液中進(jìn)行電沉積，相對(duì)于甘汞電極的陽極沉積電位為0.8V～1.4V，沉積溫度為25～50℃，得到稀土摻雜的氟化鍶薄膜。
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