[發(fā)明專利]上部向下噴射式基板蝕刻裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010219619.3
• 申請(qǐng)日: 2010-07-07
• 公開（公告）號(hào): CN102161570A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張承逸
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社M-M技術(shù)
• 主分類號(hào): C03C15/00
• 分類號(hào): C03C15/00
• 代理公司: 北京神州華茂知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11358
• 代理人: 吳濤

1.一種上部向下噴射式基板蝕刻裝置，其特征在于，包括：

層疊部件，具備垂直層疊有至少一個(gè)基板的盒子；

噴射部件，在上述層疊部件上部噴射蝕刻液，具備沿與上述基板并列的方向形成的至少一個(gè)單位噴嘴部；

上述噴射部件的兩末端單位噴嘴部和層疊在上述盒子的兩末端基板配置成位于同一垂直線上。

2.如權(quán)利要求1所述的上部向下噴射式基板蝕刻裝置，其特征在于，

上述噴射部件包括：沿與層疊在上述盒子的基板并列的方向形成的噴嘴固定部和至少一個(gè)單位噴嘴部，該單位噴嘴部包括在上述噴嘴固定部上按一定間隔配置的噴嘴；

上述基板蝕刻裝置還包括第1驅(qū)動(dòng)部件，該第1驅(qū)動(dòng)部件與上述噴嘴固定部的一端結(jié)合，在噴嘴的蝕刻液噴射時(shí)控制上述噴嘴固定部，使其通過旋轉(zhuǎn)及反轉(zhuǎn)振動(dòng)。

3.如權(quán)利要求2所述的上部向下噴射式基板蝕刻裝置，其特征在于，

上述第1驅(qū)動(dòng)部件包括：

驅(qū)動(dòng)電機(jī)，提供驅(qū)動(dòng)力，使形成在上述噴嘴固定部下端的噴嘴沿與在下部的盒子層疊基板的方向即軌道方向垂直的橫方向左右振動(dòng)；

微處理器，控制上述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)；

傳遞部，結(jié)合在上述驅(qū)動(dòng)電機(jī)和上述噴嘴固定部，將上述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)力傳遞到上述噴嘴固定部。

4.如權(quán)利要求3所述的上部向下噴射式基板蝕刻裝置，其特征在于，

上述傳遞部包括：

皮帶，圍繞上述驅(qū)動(dòng)電機(jī)和上述噴嘴固定部，并與上述噴嘴固定部的上、下端中的一端緊密接觸；

軸承，形成在上述噴嘴固定部的上、下端中的另一端而固定上述噴嘴固定部。

5.如權(quán)利要求3所述的上部向下噴射式基板蝕刻裝置，其特征在于，

上述微處理器控制上述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的正反旋轉(zhuǎn)，上述驅(qū)動(dòng)電機(jī)使形成在上述噴嘴固定部下端的噴嘴沿上述橫方向在左右45度范圍內(nèi)振動(dòng)。

6.如權(quán)利要求3所述的上部向下噴射式基板蝕刻裝置，其特征在于，

還包括上述第1驅(qū)動(dòng)部件的傳遞部向腔外部延長(zhǎng)而與上述噴嘴固定部結(jié)合的連接部，從而使上述第1驅(qū)動(dòng)部件位于形成有噴射部件的腔外部。

7.如權(quán)利要求1所述的上部向下噴射式基板蝕刻裝置，其特征在于，還包括第2驅(qū)動(dòng)部件，該第2驅(qū)動(dòng)部件進(jìn)行控制，使上述層疊部件的盒子沿基板層疊在盒子的方向即軌道方向的縱方向移動(dòng)，或者蝕刻液噴射時(shí)使盒子振動(dòng)。

8.如權(quán)利要求7所述的上部向下噴射式基板蝕刻裝置，其特征在于，

上述層疊部件包括：

盒子，層疊有基板；

輪子，形成在上述盒子下部，以便可以在形成于腔下部的軌道上移動(dòng)；

連接部件，一端與上述盒子連接；

上述驅(qū)動(dòng)部件包括：

驅(qū)動(dòng)電機(jī)，提供用于上述盒子的移動(dòng)及振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)力；

皮帶部，傳遞上述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)力；

移動(dòng)部，形成在上述皮帶部上，并與上述連接部件的另一端連接而移動(dòng)或振動(dòng)上述盒子。

9.如權(quán)利要求8所述的上部向下噴射式基板蝕刻裝置，其特征在于，

上述盒子和移動(dòng)部的連接部件結(jié)合部形成有凸緣，

上述連接部件的兩端形成有締結(jié)在上述凸緣而固定的掛鉤。