[發(fā)明專利]轉(zhuǎn)向裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010219068.0
• 申請日: 2010-07-07
• 公開（公告）號: CN101894780A
• 公開（公告）日: 2010-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳紹勇;王志華;江建新
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫華晶電子設(shè)備制造有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮;李辰

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)制造設(shè)備領(lǐng)域，更具體地說，涉及轉(zhuǎn)向裝置。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)的轉(zhuǎn)向裝置采用皮帶帶動連桿旋轉(zhuǎn)的方式完成轉(zhuǎn)向工作，圖1和圖2所示為傳統(tǒng)的轉(zhuǎn)向裝置，該裝置包括：轉(zhuǎn)向連動組合機(jī)構(gòu)101、導(dǎo)模心軸102、轉(zhuǎn)向馬達(dá)103、分度撿知環(huán)104和馬達(dá)原點(diǎn)撿知環(huán)105，導(dǎo)模心軸102置于所述轉(zhuǎn)向聯(lián)動組合機(jī)構(gòu)101上，通過皮帶與轉(zhuǎn)向馬達(dá)103相連，分度撿知環(huán)104和馬達(dá)原點(diǎn)撿知環(huán)105分別安裝在導(dǎo)模心軸102上，兩者相互配合做轉(zhuǎn)向后的方向確認(rèn)和原點(diǎn)位置的判斷。轉(zhuǎn)向馬達(dá)103驅(qū)動導(dǎo)模心軸102，并依據(jù)前一工位給出的轉(zhuǎn)向觸發(fā)信號做轉(zhuǎn)向動作，轉(zhuǎn)向馬達(dá)103動作停留位置以分度撿知環(huán)104為到位檢知亮為一次分度完成，通過變換方向使材料轉(zhuǎn)成所需的工位方向。

由于導(dǎo)模心軸是通過皮帶傳動，在傳動時容易產(chǎn)生間隙造成轉(zhuǎn)向精度不易控制現(xiàn)象；分度檢知環(huán)和馬達(dá)原點(diǎn)檢知環(huán)容易產(chǎn)生誤判，使得傳動部位易造成磨損還會發(fā)生馬達(dá)過載而導(dǎo)致轉(zhuǎn)向不到位。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明提供一種轉(zhuǎn)向裝置，該轉(zhuǎn)向裝置轉(zhuǎn)向精度高，減少傳動部位磨損。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種轉(zhuǎn)向裝置，包括：

馬達(dá)固定座；

穿過所述馬達(dá)固定座的導(dǎo)模心軸；

??安裝在所述馬達(dá)固定座上，其輸出軸與所述導(dǎo)模心軸相連的馬達(dá)，所述馬達(dá)上設(shè)置有編碼器，所述編碼器檢測導(dǎo)模心軸旋轉(zhuǎn)到預(yù)設(shè)位置后控制所述馬達(dá)停止工作。

優(yōu)選地，在上述轉(zhuǎn)向裝置中，還包括可伸縮的馬達(dá)調(diào)整塊，所述馬達(dá)調(diào)整塊一端安裝在所述馬達(dá)固定座上。

優(yōu)選地，在上述轉(zhuǎn)向裝置中，所述馬達(dá)調(diào)整塊包括固定缸、伸縮缸和驅(qū)動部件，所述固定缸安裝在所述馬達(dá)固定座上；所述伸縮缸置于所述固定缸內(nèi)部，并可做伸縮運(yùn)動；所述驅(qū)動部件用于驅(qū)動所述伸縮缸在所述固定缸內(nèi)作伸縮運(yùn)動。

優(yōu)選地，在上述轉(zhuǎn)向裝置中，所述馬達(dá)調(diào)整塊包括：固定塊和一端與所述馬達(dá)固定座相連的滑塊，所述滑塊可在所述固定塊上滑動，并通過螺釘固定在所述固定塊上。

優(yōu)選地，在上述轉(zhuǎn)向裝置中，所述驅(qū)動部件為液壓驅(qū)動部件。

優(yōu)選地，在上述轉(zhuǎn)向裝置中，所述驅(qū)動部件為氣壓驅(qū)動部件。

優(yōu)選地，在上述轉(zhuǎn)向裝置中，還包括用于支撐馬達(dá)固定座的底座，所述底座安裝在所述馬達(dá)調(diào)整塊上。

優(yōu)選地，在上述轉(zhuǎn)向裝置中，所述編碼器為光電旋轉(zhuǎn)編碼器。

從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明實(shí)施例中，馬達(dá)與導(dǎo)模心軸直接相連，由于沒有通過傳送帶進(jìn)行動力傳輸，所以減少了累積誤差。由于馬達(dá)內(nèi)部設(shè)置有編碼器，通過編碼器就可檢測導(dǎo)模心軸是否旋轉(zhuǎn)到預(yù)設(shè)位置，當(dāng)導(dǎo)模心軸旋轉(zhuǎn)到預(yù)設(shè)位置后編碼器就會將檢測到的信號直接反饋到馬達(dá)內(nèi)，使得馬達(dá)停止工作。由于反饋是直接反饋所以反饋時間短，馬達(dá)會在短時間內(nèi)做出判斷，因此旋轉(zhuǎn)精度容易控制。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中轉(zhuǎn)向裝置主視圖；

圖2為現(xiàn)有技術(shù)中轉(zhuǎn)向裝置立體圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的轉(zhuǎn)向裝置主視圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的轉(zhuǎn)向裝置立體圖；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的馬達(dá)調(diào)整塊的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

本發(fā)明提供一種轉(zhuǎn)向裝置，該轉(zhuǎn)向裝置轉(zhuǎn)向精度高，減少傳動部位磨損。

請參照圖3和圖4，圖3為轉(zhuǎn)向裝置的主視圖，圖4為轉(zhuǎn)向裝置的立體圖。

該轉(zhuǎn)向裝置，包括：馬達(dá)固定座202、導(dǎo)模心軸201和馬達(dá)203，導(dǎo)模心軸201穿過馬達(dá)固定座202并與馬達(dá)203的輸出軸相連，馬達(dá)203的輸出軸與導(dǎo)模心軸201的連接方式為固定連接。該馬達(dá)203上設(shè)置有編碼器，該編碼器可以檢測導(dǎo)模心軸201的旋轉(zhuǎn)位置，并判斷該位置是否為預(yù)設(shè)位置，如果是則將最終的檢測信號傳遞給馬達(dá)203，使得所述馬達(dá)203停止工作。