[發(fā)明專利]光學(xué)檢查裝置和利用其的檢查方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010219050.0
• 申請(qǐng)日: 2010-06-25
• 公開（公告）號(hào): CN102004110A
• 公開（公告）日: 2011-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔鉉鎬;金敏秀
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: AJU高技術(shù)公司
• 主分類號(hào): G01N21/956
• 分類號(hào): G01N21/956;G01N21/958;G01R31/02;G01B11/24
• 代理公司: 北京信慧永光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 李雪春;武玉琴

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對(duì)檢查對(duì)象物進(jìn)行檢查的檢查裝置，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及利用對(duì)檢查對(duì)象物進(jìn)行拍攝得到的圖像，對(duì)檢查對(duì)象物進(jìn)行檢查的光學(xué)檢查裝置以及利用其的檢查方法。

背景技術(shù)

顯示影像的平板顯示裝置用于計(jì)算機(jī)和便攜式終端機(jī)等多個(gè)領(lǐng)域。這樣的平板顯示裝置通過(guò)使用者的操作，把與其對(duì)應(yīng)的信息作為影像顯示。

最近，為了使平板顯示裝置的操作變得容易，把觸摸式面板應(yīng)用于平板顯示裝置，提高了使用者的便利性。

觸摸式面板包括坐標(biāo)片，該坐標(biāo)片用于生成使用者施加壓力部位的位置值。由于這樣的觸摸式面板設(shè)置在平板顯示面板的上面，所以與平板顯示面板顯示影像的顯示區(qū)域?qū)?yīng)的部分必須全部是透明材質(zhì)。因此，坐標(biāo)片包括透明的基體膜，在基體膜的上面形成用于生成使用者施加壓力部位的位置值的導(dǎo)電性透明圖案和鍍銀圖案。

透明圖案在與平板顯示面板的顯示區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域上形成，由與氧化銦錫或氧化銦鋅相同的材料構(gòu)成。鍍銀圖案在與包圍顯示區(qū)域的周圍區(qū)域?qū)?yīng)的區(qū)域上形成，與生成使用者施加壓力部分的位置值的外部裝置以及透明圖案和電路板連接。

特別是由于坐標(biāo)片的基體膜和透明圖案全都是透明的，所以通過(guò)利用探針檢查裝置這樣的利用電信號(hào)的檢查裝置可以進(jìn)行檢查，而在用肉眼或攝像機(jī)的情況下不能進(jìn)行檢查。

專利文獻(xiàn)1：韓國(guó)專利公開公報(bào)第10-2009-0039412號(hào)

發(fā)明內(nèi)容

鑒于要解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的是提供一種可以提高檢查效率的光學(xué)檢查裝置。

本發(fā)明另外的目的是提供一種利用光學(xué)檢查裝置的檢查方法。

用于實(shí)現(xiàn)所述本發(fā)明目的的第一方面的光學(xué)檢查裝置包括支承單元、第一照明單元以及拍攝單元。

檢查對(duì)象物放置在支承單元上。第一照明單元設(shè)置在支承單元的上部，產(chǎn)生短波長(zhǎng)的第一光，并向放置在支承單元上的檢查對(duì)象物照射該第一光。拍攝單元拍攝第一光所照射的檢查對(duì)象物。

此外，用于實(shí)現(xiàn)所述本發(fā)明目的的第二方面的光學(xué)檢查裝置包括支承單元、垂直照明單元、第一傾斜照明單元和第二傾斜照明單元以及拍攝單元。

形成有透明圖案的檢查對(duì)象物放置在支承單元的上表面上。垂直照明單元設(shè)置在支承單元的上部，配置成長(zhǎng)度方向的軸與支承單元的上表面垂直，產(chǎn)生短波長(zhǎng)的第一光，并向放置在支承單元上的檢查對(duì)象物以線形的方式照射第一光。第一傾斜照明單元和第二傾斜照明單元設(shè)置在垂直照明單元的下方，產(chǎn)生第二光，向放置在支承單元上的檢查對(duì)象物以線形的方式照射第二光。射出第二光的所述第一傾斜照明單元的射出面和所述第二傾斜照明單元的射出面配置成相對(duì)于檢查對(duì)象物的檢查面相互向相反的方向傾斜。拍攝單元設(shè)置在第一照明單元的上部，拍攝第一光和第二光所照射的檢查對(duì)象物。

此外，用于實(shí)現(xiàn)所述本發(fā)明目的的第三方面的光學(xué)檢查方法如下所述。首先邊向形成有透明圖案的檢查對(duì)象物照射短波長(zhǎng)的第一光，邊拍攝檢查對(duì)象物。然后通過(guò)拍攝的圖像對(duì)檢查對(duì)象物進(jìn)行檢查。

這樣的光學(xué)檢查方法還可以包括檢查有色圖案的工序：邊向檢查對(duì)象物射出第二光，邊拍攝檢查對(duì)象物，通過(guò)照射第二光拍攝的圖像檢查在對(duì)象物上形成的有色圖案。

用于實(shí)現(xiàn)所述本發(fā)明目的的第四方面的光學(xué)檢查方法如下所述。首先邊向形成有透明圖案和有色圖案的檢查對(duì)象物同時(shí)射出短波長(zhǎng)的第一光和第二光，邊拍攝檢查對(duì)象物。然后通過(guò)拍攝的圖像對(duì)檢查對(duì)象物進(jìn)行檢查。

按照本發(fā)明，光學(xué)檢查裝置由于照射短波長(zhǎng)的光對(duì)檢查對(duì)象物進(jìn)行拍攝，所以利用拍攝的圖像可以檢查在檢查對(duì)象物上形成的透明圖案，可以提高檢查效率。

附圖說(shuō)明

圖1是簡(jiǎn)要表示本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的光學(xué)檢查裝置的側(cè)視圖。

圖2是表示具有觸摸式面板的平板顯示裝置的剖視圖。

圖3是表示圖2所示的坐標(biāo)片的俯視圖。

圖4是表示圖1所示的支承板的俯視圖。

圖5是沿圖4的剖切線I-I’的剖視圖。

圖6是表示圖1所示的垂直照明單元以及第一傾斜照明單元和第二傾斜照明單元的側(cè)視圖。

圖7是表示圖6所示的垂直照明單元以及第一傾斜照明單元和第二傾斜照明單元的主視圖。

圖8是表示圖6所示的垂直照明單元的側(cè)視圖。

圖9是表示圖8所示的第一照明主體的剖視圖。

圖10是表示圖9所示的第一照明主體的另一個(gè)例子的剖視圖。

圖11是表示圖6所示的第一傾斜照明單元的側(cè)視圖。

圖12是表示利用圖1所示的光學(xué)檢查裝置檢查ITO膜的檢查方法的流程圖。