[發明專利]光學檢查裝置和利用其的檢查方法

無效

• 申請號: 201010219050.0
• 申請日: 2010-06-25
• 公開（公告）號: CN102004110A
• 公開（公告）日: 2011-04-06
• 發明（設計）人: 崔鉉鎬;金敏秀
• 申請（專利權）人: AJU高技術公司
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956;G01N21/958;G01R31/02;G01B11/24
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 李雪春;武玉琴

1.一種光學檢查裝置，其特征在于包括：

支承單元，放置檢查對象物；

第一照明單元，設置在所述支承單元的上部，產生短波長的第一光，并向放置在所述支承單元上的所述檢查對象物照射該第一光；以及

拍攝單元，拍攝所述第一光所照射的所述檢查對象物。

2.根據權利要求1所述的光學檢查裝置，其特征在于，所述第一光是藍光。

3.根據權利要求1或2所述的光學檢查裝置，其特征在于，

所述第一照明單元包括：

第一光源，產生所述第一光；

分光構件，配置成與所述第一光源的射出面相對，根據入射的光的方向使所述光透過或反射所述光；以及

第一聚光構件，把利用所述分光構件反射的光匯聚，提供給所述檢查對象物，并把從放置在所述支承單元上的所述檢查對象物反射的光提供給所述分光構件。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的光學檢查裝置，其特征在于還包括：至少一個第二照明單元，設置在所述支承單元的上部，產生第二光，并向放置在所述支承單元上的所述檢查對象物照射該第二光。

5.根據權利要求4所述的光學檢查裝置，其特征在于，所述第二光具有與所述第一光相同的顏色。

6.根據權利要求4所述的光學檢查裝置，其特征在于，所述第二光具有與所述第一光不同的顏色。

7.根據權利要求6所述的光學檢查裝置，其特征在于，所述第二光是白光。

8.根據權利要求4所述的光學檢查裝置，其特征在于，所述第一照明單元和所述第二照明單元配置成：在所述檢查對象物上，所述第一光照射的區域和所述第二光照射的區域相互重疊。

9.根據權利要求4所述的光學檢查裝置，其特征在于，

所述第二照明單元包括：

第二光源，產生所述第二光；

平行光變換構件，配置成與所述第二光源的射出面相對，把從所述第二光源射出的所述第二光變換成平行光射出；以及

第二聚光構件，設置成隔著所述平行光變換構件與所述第二光源相對，把從所述平行光變換構件射出的所述第二光匯聚，提供給放置在所述支承單元上的所述檢查對象物。

10.根據權利要求4所述的光學檢查裝置，其特征在于還包括：托架，與所述第二照明單元連接，并且固定在所述第一照明單元上。

11.根據權利要求10所述的光學檢查裝置，其特征在于，

所述第一照明單元設置成連接在所述托架的上端部，并且配置成射出所述第一光的射出面與所述檢查對象物的檢查面水平相對，

所述第二照明單元設置成連接在所述托架的下端部，并且配置成射出所述第二光的射出面相對于所述檢查對象物的檢查面傾斜。

12.根據權利要求1～11中任一項所述的光學檢查裝置，其特征在于還包括：水平移動部，與所述拍攝單元和所述第一照明單元連接，在所述支承單元上部水平移動，改變所述拍攝單元和所述第一照明單元的水平位置。

13.根據權利要求1～12中任一項所述的光學檢查裝置，其特征在于，所述拍攝單元是線掃描式攝像機。

14.根據權利要求1～13中任一項所述的光學檢查裝置，其特征在于，所述支承單元的放置所述檢查對象物的面進行過無光鍍處理。

15.根據權利要求14所述的光學檢查裝置，其特征在于，所述支承單元的放置所述檢查對象物的面為黑色。

16.根據權利要求15所述的光學檢查裝置，其特征在于，所述支承單元的放置所述檢查對象物的面被陽極氧化處理成黑色。