[發明專利]抗氧化修整熔絲的方法

有效

• 申請號: 201010216521.2
• 申請日: 2010-06-30
• 公開（公告）號: CN101908524A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發明（設計）人: 岳小兵;祁建華;劉遠華;汪瑞祺;張志勇;葉守銀;牛勇
• 申請（專利權）人: 上海華嶺集成電路技術有限責任公司
• 主分類號: H01L23/525
• 分類號: H01L23/525;G01R27/02
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭瑋

技術領域

本發明涉及晶圓測試，尤其涉及一種抗氧化修整熔絲的方法。

背景技術

集成電路中測是指使用專門設備測試晶圓上的集成電路的性能參數。在集成電路中測時，為了優化集成電路的性能，常常需要修整集成電路的熔絲以選擇合適的內部電路模塊。

集成電路的熔絲由低熔點的合金制成，熔絲的阻抗為0歐姆，每根熔絲短路一個內部電路模塊。

修整熔絲就是用大電流熔斷熔絲。

參見圖1，現有技術的修整熔絲的方法包括以下步驟：

步驟1，測量晶圓上集成電路的參數，此時，測得的數值是集成電路該參數的初始值；

步驟2，根據參數的初始值選定要修整的熔絲；

根據參數的初始值與參數的目標值之差的絕對值，選擇要修整的熔絲(通常為多根熔絲，組成熔絲組合)，被選定的熔絲組合的修調理論值最接近參數的初始值與參數的目標值之差的絕對值；

步驟3，修整步驟2選定的熔絲；

修整熔絲使用熔絲電路和熔絲探針，由熔絲電路提供電壓來熔斷熔絲，具體為熔絲電路提供的電壓產生一個電流，該電流通過熔絲探針傳輸給熔絲，流經熔絲探針的電流加熱熔絲，使熔絲的溫度達到熔點，從而熔斷熔絲；

現有技術中，熔斷熔絲組合中的每一根熔絲時，熔絲電路提供的電壓不變，即熔絲電路提供固定電壓。

修整熔絲需要有較大的電流流經熔絲，以加熱熔絲，因此，通過熔絲探針的電流也較大，熔絲探針容易被氧化，氧化后的熔絲探針的阻抗變大，當熔絲探針的阻抗變大后，通過熔絲探針傳輸給熔絲的電流就會變小，這會降低熔斷熔絲的成功率。為提高熔斷熔絲的成功率，現有技術采取的措施是根據經驗定時清理熔絲探針，這種措施簡單易操作，但是不能及時掌握熔絲探針的氧化情況，而且熔絲探針在生命周期的不同階段氧化速度不同，因此，現有技術的修整熔絲的方法會出現熔斷熔絲的成功率逐漸降低的現象，即熔斷熔絲的成功率趨于不穩定。

發明內容

本發明的目的在于提供一種抗氧化修整熔絲的方法，提高熔斷熔絲的成功率，并使熔斷熔絲的成功率趨于穩定。

為了達到上述的目的，本發明提供一種抗氧化修整熔絲的方法，包括以下步驟：測量熔絲探針的阻抗；判斷熔絲探針的阻抗是否大于上限值，如果是，清理熔絲探針，再回到上述步驟，如果否，執行下述步驟；根據公式V＝R×I設定熔絲電路的輸出電壓，其中，V表示熔絲電路的輸出電壓，R表示熔絲探針的阻抗，I表示熔絲熔斷電流；熔斷選定的熔絲。

上述抗氧化修整熔絲的方法，其中，還包括測量晶圓上集成電路參數的初始值，根據測得的參數的初始值選定要修整的熔絲組合。

上述抗氧化修整熔絲的方法，其中，采用測試機的參數測量單元測量所述熔絲探針的阻抗。

上述抗氧化修整熔絲的方法，其中，當所述熔絲探針的阻抗大于上限值時，所述測試機報警指示清理熔絲探針。

上述抗氧化修整熔絲的方法，其中，所述熔絲探針阻抗的上限值為10歐姆。

本發明的抗氧化修整熔絲的方法實時監控熔絲探針的氧化情況，并根據熔絲探針的氧化情況靈活選熔絲電路的輸出電壓或者清理熔絲，可提高熔斷熔絲的成功率；

熔絲探針在生命周期的不同階段氧化速度不同，本發明的抗氧化修整熔絲的方法實時監控熔絲探針的氧化情況，因此，在熔絲探針生命周期的不同階段，本發明抗氧化修整熔絲的方法清理熔絲探針的頻率不同，使得熔斷熔絲的成功率趨于穩定。

附圖說明

本發明的抗氧化修整熔絲的方法由以下的實施例及附圖給出。

圖1是現有技術的修整熔絲的方法的流程圖。

圖2是本發明的抗氧化修整熔絲的方法的流程圖。

圖3是本發明的抗氧化修整熔絲的方法的電路原理圖。

具體實施方式

以下將結合圖2～圖3對本發明的抗氧化修整熔絲的方法作進一步的詳細描述。

參見圖2，本發明抗氧化修整熔絲的方法包括以下步驟：

測量熔絲探針的阻抗；

判斷熔絲探針的阻抗是否大于上限值，如果是，清理熔絲探針，再回到上述步驟，如果否，執行下述步驟；

根據公式V＝R×I設定熔絲電路的輸出電壓，其中，V表示熔絲電路的輸出電壓，R表示熔絲探針的阻抗，I表示熔絲熔斷電流；

熔斷選定的熔絲。

本發明的抗氧化修整熔絲的方法可提高熔斷熔絲的成功率，使得熔斷熔絲的成功率趨于穩定；使用本發明抗氧化修整熔絲的方法可延長熔絲探針的使用壽命。

現以一具體實施例說明本發明抗氧化修整熔絲的方法：

測量熔絲探針的阻抗采用測試機提供的參數測量單元；