[發明專利]激光器二極管

有效

• 申請號: 201010216255.3
• 申請日: 2010-06-23
• 公開（公告）號: CN101938084A
• 公開（公告）日: 2011-01-05
• 發明（設計）人: 中島真;橫山隆浩;狩野祥男;高瀬英治;吉田雄太
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: H01S5/22
• 分類號: H01S5/22;H01S5/40
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 彭久云

技術領域

本發明涉及每個發射器都能夠單獨地驅動的激光器二極管。

背景技術

在激光器二極管中，為了單獨驅動每個發射器，在相鄰發射器之間設置電隔離相鄰發射器的隔離凹槽。隔離凹槽的寬度根據激光器的類型而變化。在束節距(beam?pitch)約為幾十μm的窄節距型激光器的情況下，隔離凹槽的寬度僅約為幾μm。因此，在此情況下，很難在窄的隔離凹槽中設置配線層，以連接在兩側被隔離凹槽圍繞的發射器(激光器結構)上的條形電極與形成在遠離激光器結構的位置處的焊墊電極。因此，例如如日本特開第2000-269601號公報所描述的，通常在隔離凹槽中埋設絕緣材料，前述配線層設置在絕緣材料上。

發明內容

然而，在前述日本特開第2000-269601號公報描述的激光器中，存在這樣的缺點：在排列的多個激光器結構當中，從中央激光器結構發射的光的偏振方向與從端部激光器結構發射的光的偏振方向不同。此外，在僅設置單個激光器結構的激光器中，存在從該單個激光器結構發射的光的偏振方向與所希望的方向不同的缺點。

考慮到上述問題，在本發明中所希望的是提供這樣的激光器二極管，其中從多個激光器結構發射的光的偏振方向能夠一致，并且從單個激光器結構發射的光的偏振方向能夠指向所希望的方向。

根據本發明的實施例，所提供的第一激光器二極管包括：多個條形激光器結構，彼此平行地設置并依次包括下覆層、有源層和上覆層；多個條形上電極，單個地形成在各激光器結構的頂面上并電連接到上覆層；多個配線層，至少單個地電連接到各上電極；以及多個焊墊電極，形成在與多個激光器結構的區域不同的區域中，并且通過配線層電連接到各上電極。各配線層的端部在與各配線層接觸上電極的區域不同的區域中。

根據本發明的實施例，所提供的第二激光器二極管包括：條形激光器結構，依次包括下覆層、有源層和上覆層；條形上電極，形成在激光器結構的頂面上并且電連接到上覆層；配線層，電連接到該上電極；以及焊墊電極，形成在與激光器結構的區域不同的區域中，并且通過配線層電連接到上電極。配線層的端部在與配線層接觸上電極的區域不同的區域中。

在本發明實施例的第一和第二激光器二極管中，配線層的端部在與配線層接觸上電極的區域不同的區域中。因此，與配線層的端部在配線層接觸上電極的區域中的情況相比，配線層中與激光器結構頂面相對的區域的形狀以激光器結構中心軸為中心的對稱程度很高。

根據本發明實施例的第一和第二激光器二極管，配線層中與激光器結構頂面相對的區域的形狀以激光器結構中心軸為中心的對稱程度很高。因此能夠減少由配線層的不對稱性引起的偏振方向的改變。結果，能夠使從多個激光器結構發射的光的偏振方向一致，并且能夠使從單個發射器發射的光的偏振方向指向希望的方向。

具體地講，在凹槽設置在激光器結構的兩側的情況下，凹槽沒有被掩埋而是處于空氣間隙的狀態，配線層的不對稱性變為偏振方向改變的主要因素。因此，在此情況下，通過提高配線層的對稱性，能夠使從多個激光器結構發射的光的偏振方向對齊，并且能夠使從單個發射器發射的光的偏振方向指向希望的方向。

本發明的其它和進一步的目標、特征和優點通過下面的描述將更加明顯易懂。

附圖說明

圖1A和1B是根據本發明實施例的激光器二極管的俯視圖和截面圖；

圖2是圖1的脊的俯視圖；

圖3A至3C的截面圖用于說明制造圖1的激光器二極管的方法示例；

圖4的立體圖用于說明圖3A至3C之后的步驟；

圖5A和5B的立體圖和截面圖用于說明圖4之后的步驟；

圖6A和6B是圖1的激光器二極管的修改示例的俯視圖和截面圖；

圖7A和7B是圖1的激光器二極管的另一個修改示例的俯視圖和截面圖；

圖8是圖1的激光器二極管的又一個修改示例的截面圖；

圖9是圖1的激光器二極管的再一個修改示例的截面圖；

圖10A和10B是圖1的激光器二極管的再一個修改示例的俯視圖和截面圖。

具體實施方式

在下文，將參考附圖描述本發明的實施例。描述將以下面的順序給出：

1.實施例(圖1A、圖1B和圖2)

形成多個脊的示例

每個配線層跨過所有脊的示例

不掩埋凹槽的示例

2.修改示例

每個配線層的端部形成在脊頂面的端部的示例(圖6A、圖6B、圖7A和圖7B)

虛設配線層形成在脊上的示例(圖6A和6B)

凹槽被掩埋的示例(圖8)