[發明專利]一種硅片切割廢砂漿的回收方法

有效

• 申請號: 201010214534.6
• 申請日: 2010-06-26
• 公開（公告）號: CN102295285A
• 公開（公告）日: 2011-12-28
• 發明（設計）人: 陳帆;王忠利;林宏業
• 申請（專利權）人: 比亞迪股份有限公司
• 主分類號: C01B31/36
• 分類號: C01B31/36;C01B33/021;C08G65/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片切割廢砂漿的回收方法，包括以下步驟：

a.硅片切割廢砂漿固液分離，得到固體砂料和液體份；

b.步驟a中得到的液體份中加入脫色劑、離子吸附劑和助濾劑，固液分離，得到聚乙二醇切割回收液；

c.步驟a中得到的固體砂料通過磁選分離去除金屬，得到硅與碳化硅的混合物；

d.將步驟c中得到的硅與碳化硅的混合物在1425-1550℃下真空加熱；冷卻至室溫后篩網振動過濾，收集篩下的物質得到碳化硅微粉，收集篩上的物質得到硅塊；粉碎硅塊得到硅粉。

2.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于：步驟a中，固液分離采用離心分離，離心轉速為1000-2000rpm，離心時間20-40min。

3.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于：步驟b中，脫色劑為活性炭和/或過硫酸銨，離子吸附劑為聚丙烯酰胺或聚二甲基二烯丙基氯化銨，助濾劑為硅藻土或珍珠巖；質量比為液體份∶脫色劑∶離子吸附劑∶助濾劑＝(10-5)∶1∶1∶1。

4.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于：步驟d中，真空加熱的溫度為1450-1480℃，真空度不高于-0.01MPa；真空加熱的時間為3-6h。

5.根據權利要求1或4所述的回收方法，其特征在于：步驟d中，硅與碳化硅的混合物的真空加熱過程在坩堝中進行；所述坩堝內層表面覆有氮化硅層，坩堝體材料為石英或氧化鋁陶瓷。

6.根據權利要求1或4所述的回收方法，其特征在于：步驟d中，篩網尺寸為100-300目，篩網振動頻率為40-80次/min。

7.根據權利要求1所述的回收方法，其特征在于：步驟d中，粉碎硅塊的方法為氣流粉碎，氣流壓力為0.5-0.7MPa；氣流粉碎的時間為5-20min。