[發明專利]基板檢查方法

有效

• 申請號: 201010214210.2
• 申請日: 2010-06-25
• 公開（公告）號: CN101937030A
• 公開（公告）日: 2011-01-05
• 發明（設計）人: 山下宗寬
• 申請（專利權）人: 日本電產理德株式會社
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R31/02;G01R19/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王軼;李偉

技術領域

本發明涉及檢查設置在被檢查基板上的多個布線圖案的電氣特性的基板檢查方法。

背景技術

作為這種現有技術，存在下述這樣的技術，即，將多個布線圖案中的任一個布線圖案設定為正極側，并且將余下的布線圖案設定為負極側，利用輸出部對布線圖案間賦予電位差，進而檢測在布線圖案和輸出部之間流過的電流，并根據檢測出的電流值判定布線圖案間的絕緣性的優良與否。依次更換被設定為正極側的布線圖案，由此對全部布線圖案彼此間的組合進行絕緣性的檢查。

作為相關的現有技術文獻，有專利文獻1、2。

【專利文獻1】日本特開昭52-155364號公報

【專利文獻2】日本特開2000-193702號公報

然而，在上述的檢查方法中，由于對全部布線圖案彼此間的組合進行絕緣性的檢查，故盡管能夠以高信賴性進行檢查，但反而卻存在檢查耗時，檢查效率較低的問題。

發明內容

因此，本發明要解決的課題在于提供一種不會降低檢查精度，而縮短檢查時間提高檢查效率的基板檢查方法。

為了解決上述課題，技術方案1的發明中，提供一種基板檢查方法，其是對設置在被檢查基板上的多個布線圖案的電氣特性進行檢查的方法，在該基板檢查方法中，使用與設置在上述被檢查基板上的上述多個布線圖案導通的多個探針、借助上述探針對上述布線圖案間賦予電位差的輸出部、和檢測流過上述輸出部和上述布線圖案之間的電流的第1及第2特性檢測部，上述基板檢查方法具有被依次執行的多個單位檢查工序，在上述各單位檢查工序中，將在上述多個布線圖案中的且在上述單位檢查工序彼此間互不相同的任意1個布線圖案設定為正極側，并且將上述1個布線圖案以外的布線圖案設定為負極側，在此狀態下，利用上述輸出部并借助上述探針，對正極側的上述布線圖案和負極側的上述布線圖案之間賦予電位差，上述單位檢查工序具有第1副工序和第2副工序，在該第1副工序中，在第1檢測時間，利用上述第1特性檢測部，對流過布線圖案與上述輸出部之間的電流進行檢測，其中，該布線圖案是指在執行中的該單位檢查工序中被設定為負極側的上述布線圖案中的、在之前的上述單位檢查工序中未被設定過正極側的布線圖案，并根據該檢測結果，對被設定為正極側的上述布線圖案、與被設定為負極側的上述布線圖案中的未被設定過正極側的上述布線圖案之間的第1電氣特性進行檢查，在該第2副工序中，在比上述第1檢測時間提前的第2檢測時間，利用上述第2特性檢測部，對流過布線圖案與上述輸出部之間的電流進行檢測，其中，該布線圖案是指在執行中的該單位檢查工序中被設定為負極側的上述布線圖案中的在之前的上述單位檢查工序已被設定過正極側的上述布線圖案，并根據該檢測結果，對被設定為正極側的上述布線圖案、與被設定為負極側的上述布線圖案中的已被設定過正極側的上述布線圖案之間的上述第1電氣特性進行檢查。

另外，技術方案2的發明中，在技術方案1的發明所涉及的基板檢查方法的基礎上，在上述多個單位檢查工序之中的最初執行的最先單位檢查工序和最后執行的最終單位檢查工序之間所執行的各中間單位檢查工序，具備上述第1副檢查工序和上述第2副檢查工序，上述最先單位檢查工序具備上述第1副工序，上述最終單位檢查工序具備上述第2副工序。

另外，技術方案3的發明中，在技術方案1或技術方案2的發明所涉及的基板檢查方法的基礎上，還使用有借助上述探針對上述布線圖案間的電位差進行檢測的電位差檢測部，上述各單位檢查工序還具有第3副工序，在該第3副工序中，當利用上述輸出部對被設定為正極側的上述布線圖案與被設定為負極側的上述布線圖案之間賦予電位差時，根據利用上述電位差檢測部檢測出的正極側的上述布線圖案與負極側的上述布線圖案之間的電位差隨時間的變化情況，對正極側的上述布線圖案與負極側的上述布線圖案之間的第2電氣特性進行檢查。

另外，技術方案4的發明中，在技術方案3的發明所涉及的基板檢查方法的基礎上，在上述第3副工序中，根據利用上述電位差檢測部檢測出的上述電位差在上升過程中是否有暫時下降的情況，對上述第2電氣特性進行檢查。

另外，技術方案5的發明中，在技術方案1至技術方案4中任一發明所涉及的基板檢查方法的基礎上，從面積更大的上述布線圖案被設定為正極側的單位檢查工序起依次執行上述多個單位檢查工序。