[發明專利]基板檢查方法

有效

• 申請號: 201010214210.2
• 申請日: 2010-06-25
• 公開（公告）號: CN101937030A
• 公開（公告）日: 2011-01-05
• 發明（設計）人: 山下宗寬
• 申請（專利權）人: 日本電產理德株式會社
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R31/02;G01R19/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王軼;李偉

1.一種基板檢查方法，其是對設置在被檢查基板上的多個布線圖案的電氣特性進行檢查的方法，其特征在于，

在該基板檢查方法中，使用與設置在所述被檢查基板上的所述多個布線圖案導通的多個探針、借助所述探針對所述布線圖案間賦予電位差的輸出部、和檢測流過所述輸出部和所述布線圖案之間的電流的第1及第2特性檢測部，

所述基板檢查方法具有被依次執行的多個單位檢查工序，在所述各單位檢查工序中，將在所述多個布線圖案中的且在所述單位檢查工序彼此間互不相同的任意1個布線圖案設定為正極側，并且將所述1個布線圖案以外的布線圖案設定為負極側，在此狀態下，利用所述輸出部并借助所述探針，對正極側的所述布線圖案和負極側的所述布線圖案之間賦予電位差，

所述單位檢查工序具有第1副工序和第2副工序，

在該第1副工序中，在第1檢測時間，利用所述第1特性檢測部，對流過布線圖案與所述輸出部之間的電流進行檢測，其中，該布線圖案是指在執行中的該單位檢查工序中被設定為負極側的所述布線圖案中的、在之前的所述單位檢查工序中未被設定過正極側的布線圖案，并根據該檢測結果，對被設定為正極側的所述布線圖案、與被設定為負極側的所述布線圖案中的未被設定過正極側的所述布線圖案之間的第1電氣特性進行檢查，

在該第2副工序中，在比所述第1檢測時間提前的第2檢測時間，利用所述第2特性檢測部，對流過布線圖案與所述輸出部之間的電流進行檢測，其中，該布線圖案是指在執行中的該單位檢查工序中被設定為負極側的所述布線圖案中的、在之前的所述單位檢查工序已被設定過正極側的布線圖案，并根據該檢測結果，對被設定為正極側的所述布線圖案、與被設定為負極側的所述布線圖案中的已被設定過正極側的所述布線圖案之間的所述第1電氣特性進行檢查。

2.根據權利要求1所述的基板檢查方法，其特征在于，

在所述多個單位檢查工序之中的最初執行的最先單位檢查工序和最后執行的最終單位檢查工序之間所執行的各中間單位檢查工序，具備所述第1副檢查工序和所述第2副檢查工序，

所述最先單位檢查工序具備所述第1副工序，

所述最終單位檢查工序具備所述第2副工序。

3.根據權利要求1或2所述的基板檢查方法，其特征在于，

還使用借助所述探針對所述布線圖案間的電位差進行檢測的電位差檢測部，

所述各單位檢查工序還具有第3副工序，

在該第3副工序中，當利用所述輸出部對被設定為正極側的所述布線圖案與被設定為負極側的所述布線圖案之間賦予電位差時，根據利用所述電位差檢測部檢測出的正極側的所述布線圖案與負極側的所述布線圖案之間的電位差隨時間的變化情況，對正極側的所述布線圖案與負極側的所述布線圖案之間的第2電氣特性進行檢查。

4.根據權利要求3所述的基板檢查方法，其特征在于，

在所述第3副工序中，根據利用所述電位差檢測部檢測出的所述電位差在上升過程中是否有暫時下降的情況，對所述第2電氣特性進行檢查。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的基板檢查方法，其特征在于，

從面積更大的所述布線圖案被設定為正極側的單位檢查工序起依次執行所述多個單位檢查工序。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的基板檢查方法，其特征在于，

所述多個單位檢查工序，根據在該各單位檢查工序被設定為正極側的所述布線圖案的面積的不同而被分為多個工序組，

從屬于被設定為正極側的所述布線圖案的面積更大的工序組的單位檢查工序起依次執行所述多個單位檢查工序。

7.根據權利要求5所述的基板檢查方法，其特征在于，

所述各單位檢查工序中的由所述輸出部開始賦予所述電位差起到所述第1副工序中的所述第1檢測時間為止的時間，隨著1個所述單位檢查工序的結束而逐漸縮短。

8.根據權利要求6所述的基板檢查方法，其特征在于，

所述各單位檢查工序中的由所述輸出部開始賦予所述電位差起到所述第1副工序中的所述第1檢測時間為止的時間，隨著屬于1個所述工序組的全部的所述單位檢查工序的結束而逐漸縮短。