[發明專利]母板及TFT陣列基板的制造方法

有效

• 申請號: 201010211521.3
• 申請日: 2010-06-21
• 公開（公告）號: CN102289115A
• 公開（公告）日: 2011-12-21
• 發明（設計）人: 劉華鋒;肖紅璽;蘇順康;吳平;丁漢亭
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1333;H01L27/02;H01L21/77
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 張麗榮

1.一種母板，包括具有至少一個顯示區域的基板，并且所述顯示區域的周邊設置有預切割區域，其特征在于，每個顯示區域相鄰兩側的預切割區域分別設有電連接的柵線連通線和數據連通線；所述柵線連通線與對應顯示區域中柵極掃描線均電連接，所述數據連通線與對應顯示區域中數據掃描線均電連接。

2.根據權利要求1所述的母板，其特征在于，所述柵線連通線和數據連通線均與柵極掃描線位于同一層并通過同一掩模板工藝制造，所述柵線連通線和數據連通線直接電連接，所述柵線連通線與對應顯示區域中柵極掃描線直接電連接；

所述數據連通線通過刻蝕形成的過孔與對應顯示區域中數據掃描線電連接，或者所述數據連通線通過離地剝離形成的過孔與對應顯示區域中數據掃描線電連接。

3.根據權利要求1所述的母板，其特征在于，所述柵線連通線和數據連通線均與數據掃描線位于同一層并通過同一掩模板工藝制造，所述柵線連通線和數據連通線直接電連接，所述數據連通線與對應顯示區域中數據掃描線直接電連接；

所述柵線連通線通過刻蝕形成的過孔與對應顯示區域中柵極掃描線電連接，或者所述柵線連通線通過離地剝離形成的過孔與對應顯示區域中柵極掃描線電連接。

4.根據權利要求1所述的母板，其特征在于，所述柵線連通線與柵極掃描線位于同一層并通過同一掩模板工藝制造，并與對應顯示區域中柵極掃描線直接電連接；所述數據連通線與數據掃描線位于同一層并通過同一掩模板工藝制造，并與對應顯示區域中數據掃描線直接電連接；

所述柵線連通線和數據連通線通過刻蝕形成的過孔電連接，或者所述柵線連通線和數據連通線通過離地剝離形成的過孔電連接。

5.根據權利要求1至4中任意一項所述的母板，其特征在于，所述柵線連通線位于柵極掃描線PAD區域相對一側的預切割區域，所述數據連通線位于數據掃描線PAD區域相對一側的預切割區域。

6.根據權利要求1至4中任意一項所述的母板，其特征在于，在對所述母板進行測試之前，在柵極掃描線上與柵線連通線電連接的一端刻蝕出斷開區域，斷開所述柵線連通線與柵極掃描線的電連接；在數據掃描線上與數據連通線電連接的一端刻蝕出斷開區域，斷開所述數據連通線與數據掃描線的電連接。

7.根據權利要求6所述的母板，其特征在于，所述數據掃描線上的斷開區域位于所述數據掃描線與數據連通線電連接的位置，或者位于所述數據掃描線與數據連通線電連接的位置向數據掃描線偏移預定距離的位置；所述柵極掃描線上的斷開區域位于所述柵極掃描線與柵線連通線電連接的位置，或者位于所述柵極掃描線與柵線連通線電連接的位置向柵極掃描線偏移預定距離的位置。

8.一種TFT陣列基板的制造方法，其特征在于，所述TFT陣列基板具有至少一個顯示區域，并且所述顯示區域的周邊設置有預切割區域，所述制造方法包括：

在每個顯示區域相鄰的兩側的預切割區域分別形成電連接的柵線連通線和數據連通線；所述柵線連通線與對應顯示區域中柵極掃描線均電連接，所述數據連通線與對應顯示區域中數據掃描線均電連接。

9.根據權利要求8所述的TFT陣列基板的制造方法，其特征在于，在每個顯示區域相鄰的兩側的預切割區域分別形成電連接的柵線連通線和數據連通線包括：

(1)在具有至少一個顯示區域的基板上沉積柵金屬層；

(2)對所述柵金屬層進行構圖工藝形成柵圖案，該柵圖案包括柵極掃描線、與柵極掃描線相連的柵極、以及位于每個顯示區域相鄰兩側的柵線連通線和數據連通線，并在所述數據連通線上與待形成的數據掃描線相交處預留光刻膠；所述柵線連通線分別與數據連通線、柵極掃描線直接電連接；

(3)在所述具有柵圖案的基板上依次沉積柵極絕緣薄膜、有源薄膜；

(4)對所述有源薄膜進行構圖工藝形成與柵極重疊的有源薄膜圖案，并對所述預留光刻膠進行離地剝離，將預留光刻膠對應位置的柵極絕緣薄膜和有源薄膜去除；

(5)在具有有源薄膜圖案的基板上形成源/漏圖案，該源/漏圖案包括與柵極掃描線交叉的數據掃描線、薄膜晶體管的源極和漏極；所述數據掃描線延伸至所述預留光刻膠位置處，并與所述數據連通線形成電連接。