[發明專利]薄膜晶體管陣列面板

有效

• 申請號: 201010210445.4
• 申請日: 2006-02-27
• 公開（公告）號: CN101881914A
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發明（設計）人: 金彰洙;金湘甲;秦洪基;吳旼錫;崔熙煥;金時烈
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1333;H01L27/12;H01L21/77
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

本申請是申請號為200610057753.1、申請日為2006年2月27日、發明名稱為“薄膜晶體管陣列面板及其制造方法”的原案申請的分案申請。

相關申請的交叉索引

本申請要求于2005年2月25提交的韓國專利第10-2005-0015914號以及2005年4月27提交的韓國專利第10-2005-0034964號的優先權，其全部內容結合于此作為參考。

技術領域

本發明涉及一種薄膜晶體管陣列面板及其制造方法。

背景技術

液晶顯示器(LCD)是使用最為廣泛的平板顯示器之一。LCD包括設置有場致電極(field-generating?electrode)的兩個面板和夾置在兩個面板之間的液晶(LC)層。通過向場致電極施加電壓以在LC層中產生電場，LCD顯示圖像，該電場確定LC層中的LC分子的方向，以調節入射光的偏振。

包括各個面板上的場致電極的LCD中，多個呈矩陣排列的像素電極設置在面板上，并且設置覆蓋另一面板的整個表面的共電極。通過向各個像素電極施加單獨的電壓完成LCD的圖像顯示。為了施加單獨的電壓，將多個三端子薄膜晶體管(TFT)連接至各個像素電極，并且在面板上設置多條柵極線，以傳輸用于控制TFT的信號，并在該面板上設置多條數據線，以傳輸向像素電極施加的電壓。此外，在面板上還設置多個存儲電極，與像素電極重疊以形成儲能電容器。

通常，需要若干光刻步驟，用于制造LCD面板。由于光刻步驟的增加而導致生產成本增加，所以優選地，減少光刻步驟。為了降低生產成本，使用具有中等厚度部分的光刻膠作為蝕刻掩模，將數據線和半導體層圖樣化。

然而，在這種制造方法中，由于在連接至像素電極的導體下殘留有半導體層并且該半導體與存儲電極重疊，所以產生屏幕上的閃爍和殘留圖像，由此降低了LCD的特性。

發明內容

本發明提供了一種薄膜晶體管陣列面板，其包括：柵極線；數據線，與柵極線交叉；存儲電極，與柵極線和數據線分離；薄膜晶體管，連接至柵極線和數據線并具有漏電極；像素電極，連接至漏電極；第一絕緣層，覆蓋薄膜晶體管并設置在像素電極下；以及第二絕緣層，設置在第一絕緣層上，并且具有開口，用于露出存儲電極上的第一絕緣層。

第一絕緣層可由無機材料制成，并且第二絕緣層可由有機材料制成。第二絕緣層可包括濾色器。存儲電極可與柵極線相同的層形成，并且接觸孔設置在開口中，以連接像素電極和漏電極。

薄膜晶體管陣列面板可進一步包括屏蔽電極，其由與像素電極相同的層形成，并且屏蔽電極和像素電極可設置在第一和第二絕緣層上。存儲電極可由與屏蔽電極相同的層形成，并且從屏蔽電極伸出。存儲電極可與漏電極重疊，其可延伸至數據線，并且可完全覆蓋數據線的邊界。

屏蔽電極至少可與柵極線的部分重疊，并且可延伸至數據線和柵極線。屏蔽電極的寬度可以大于數據線的寬度并小于柵極線的寬度。

像素電極可具有切口，并且可包括第一像素電極和與第一像素電極耦合的第二像素電極。

薄膜晶體管陣列面板可進一步包括耦合電極，其連接至漏電極并與第二像素電極重疊，其中，耦合電極僅通過第一絕緣層與第二像素電極重疊。

本發明提供了一種薄膜晶體管陣列面板，其包括：柵極絕緣層，位于柵極線上；第一半導體，位于柵極絕緣層上；數據線和漏電極，形成在第一半導體上并彼此分離；存儲導體，形成在柵極絕緣層上；第一鈍化層，形成在存儲導體、數據線和漏電極上；第二鈍化層，形成在第一鈍化層上并具有開口，用于露出對應于存儲導體的第一鈍化層；以及像素電極，連接至第二鈍化層上的漏電極并通過開口與存儲導體重疊。

第一鈍化層可比第二鈍化層薄，并且可包括無機材料，或者第二鈍化層可包括有機材料。

薄膜晶體管陣列面板可進一步包括第二半導體，其與第一半導體位于同一層并設置在存儲導體下。除位于數據線和漏電極之間的部分之外，第一半導體可具有與數據線和漏電極相同的平面形狀。第一半導體可由非晶硅制成。

薄膜晶體管陣列面板可進一步包括屏蔽電極，其形成在第二鈍化層上，并至少與柵極線和數據線的部分重疊。

第一和第二鈍化層可具有用于露出存儲導體的接觸孔，并且存儲導體通過接觸孔連接至屏蔽電極。