[發(fā)明專利]太陽能電池及制造太陽能電池的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010207365.3
• 申請日: 2010-06-18
• 公開（公告）號: CN101931029A
• 公開（公告）日: 2010-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樸鉉定;李大龍;崔榮嫮;韓東昊
• 申請（專利權(quán)）人: LG電子株式會社
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/042
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;呂俊剛

1.一種用于制造太陽能電池的方法，所述方法包括以下步驟：

形成發(fā)射區(qū)，所述發(fā)射區(qū)與第一導(dǎo)電類型的半導(dǎo)體襯底形成p-n結(jié)；

在所述半導(dǎo)體襯底上形成鈍化層；

在所述鈍化層上形成包含第一導(dǎo)電類型的雜質(zhì)的摻雜層；以及

通過將激光束照射在所述半導(dǎo)體襯底上以使所述第一導(dǎo)電類型的雜質(zhì)擴(kuò)散到所述半導(dǎo)體襯底中，在所述半導(dǎo)體襯底處局部地形成背面場區(qū)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，該形成所述背面場區(qū)的步驟通過對所述摻雜層照射激光束以使所述摻雜層的所述第一導(dǎo)電類型的雜質(zhì)擴(kuò)散到所述半導(dǎo)體襯底中來形成所述背面場區(qū)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，該方法進(jìn)一步包括以下步驟：在所述發(fā)射區(qū)上形成防反射層。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，該方法進(jìn)一步包括形成第一電極和第二電極的步驟，該形成第一電極和第二電極的步驟包括以下步驟：

在所述防反射層上提供第一電極膏；

在所述摻雜層上提供第二電極膏；以及

對具有所述第一電極膏和所述第二電極膏的所述半導(dǎo)體襯底進(jìn)行加熱。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，該方法進(jìn)一步包括以下步驟：

在所述摻雜層上提供第二電極膏；并且

該局部地形成所述背面場區(qū)的步驟包括以下步驟：對所述第二電極膏照射激光束，以使所述摻雜層的所述第一導(dǎo)電類型的雜質(zhì)擴(kuò)散到所述半導(dǎo)體襯底中。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，該方法進(jìn)一步包括以下步驟：在所述發(fā)射區(qū)上形成防反射層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，該方法進(jìn)一步包括以下步驟：

在所述防反射層上提供第一電極膏；以及

對具有所述第一電極膏和所述第二電極膏的所述半導(dǎo)體襯底進(jìn)行加熱。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述背面場區(qū)的所述第一導(dǎo)電類型的雜質(zhì)的濃度比所述半導(dǎo)體襯底的所述第一導(dǎo)電類型的雜質(zhì)的濃度更高。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，該形成所述摻雜層的步驟利用旋壓摻雜法、直接印刷法、絲網(wǎng)印刷法以及噴霧摻雜法中的一種形成所述摻雜層。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述激光束的脈沖寬度為約10飛秒至約50納秒。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，該方法進(jìn)一步包括以下步驟：在所述鈍化層中形成多個通孔。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中，所述鈍化層是多層結(jié)構(gòu)。

13.一種太陽能電池，其包括：

第一導(dǎo)電類型的半導(dǎo)體襯底；

發(fā)射區(qū)，其包含與所述第一導(dǎo)電類型相反的第二導(dǎo)電類型的雜質(zhì)，并位于第一導(dǎo)電類型的所述半導(dǎo)體襯底處；

連接到所述發(fā)射區(qū)的第一電極；

位于所述半導(dǎo)體襯底上的鈍化層；

摻雜層，其包含所述第一導(dǎo)電類型的雜質(zhì)，并位于所述鈍化層上；

第二電極，其位于所述摻雜層上并電連接到所述半導(dǎo)體襯底；以及

多個背面場區(qū)，該多個背面場區(qū)位于所述半導(dǎo)體襯底處并連接到所述第二電極。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的太陽能電池，其中，所述摻雜層的表面具有多個第一凹部。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的太陽能電池，其中，所述多個第一凹部分別對應(yīng)于所述多個背面場區(qū)的形成位置。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的太陽能電池，其中，所述第二電極的表面具有多個第二凹部。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的太陽能電池，其中，所述多個第二凹部分別對應(yīng)于所述多個背面場區(qū)的位置。

18.根據(jù)權(quán)利要求13所述的太陽能電池，其中，所述多個背面場區(qū)的所述第一導(dǎo)電類型的雜質(zhì)的濃度比所述半導(dǎo)體襯底的所述第一導(dǎo)電類型的雜質(zhì)的濃度更高。

19.根據(jù)權(quán)利要求13所述的太陽能電池，其進(jìn)一步包括：

多個接觸孔，該多個接觸孔的位置對應(yīng)于所述襯底處的所述多個背面場區(qū)；并且

所述第二電極通過所述多個接觸孔電連接到所述半導(dǎo)體襯底。

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的太陽能電池，其中，所述多個接觸孔填充有所述第二電極的材料。