[發明專利]一種大尺寸菲林母版設計及其組合方法有效
| 申請號: | 201010203936.6 | 申請日: | 2010-06-21 |
| 公開(公告)號: | CN101846878A | 公開(公告)日: | 2010-09-29 |
| 發明(設計)人: | 薄紅志;王勇;劉敏敏;陳富貴;王鵬年 | 申請(專利權)人: | 四川虹歐顯示器件有限公司 |
| 主分類號: | G03F1/14 | 分類號: | G03F1/14 |
| 代理公司: | 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214 | 代理人: | 徐宏;吳彥峰 |
| 地址: | 621000 四川省綿陽市*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 尺寸 母版 設計 及其 組合 方法 | ||
技術領域
本發明涉及一種菲林母版設計及其制作方法,尤其是一種大尺寸菲林母版設計及其組合方法。
背景技術
菲林母版是一種以透明聚酯為基體、價格比較低廉的曝光用掩模板,即曝光母版,被廣泛地應用于精度要求不是非常高(±100~500μm)的曝光工藝中,如漏印版的制作中。在等離子顯示器PDP的生產工藝中,漏印版作為轉印工具將各種漿料轉印到承印玻璃基板上,印刷出的圖形區域即PDP各單元圖形區域,對PDP屏質量起著決定作用。漏印版的漏印區是經使用菲林母版曝光后顯影所得。所以,菲林母版的圖形設計及好壞,間接地決定了PDP屏幕的質量。在設計上,制造等離子顯示器PDP可以使用的漏印版尺寸可達3200×3500mm之大,圖形區域尺寸也大到1950×2300mm左右。但是現今尚未見到有此種規格的大尺寸菲林母版生產和銷售的報道。因而,在進行菲林設計時,迫切需要尋找出快速有效且可達到合理的精度要求的方法,以滿足PDP生產對大尺寸菲林母版的需求。
發明內容
本發明的目的是提供一種大尺寸菲林母版設計及其組合方法。該大尺寸菲林母版包含曝光用間隙窗口和對位標記,還包含根據所述大尺寸菲林母版裁剪而成的小尺寸菲林母版和分別在各個所述小尺寸菲林母版上用以對位組合所述小尺寸菲林母版的互補標記。
根據本發明的實施例,該互補標記包含由遮擋紫外線的黑色乳劑覆蓋的黑色十字標記和沒有由遮擋紫外線的黑色乳劑覆蓋的白色十字標記,其尺寸包含長10mm,寬1mm。
該大尺寸菲林母版的組合方法分為以下幾個步驟:
(1)裁剪組合大尺寸菲林母版所需的小尺寸菲林母版;
(2)在背光燈照明下,對位所述小尺寸菲林母版上的互補標記直至其組合良好;
(3)在完成所述互補標記對位后用透光膠帶固定;
(4)將組合而成的大尺寸菲林母版翻面,在所述小尺寸菲林母版的組合處沿著各面取的寬或長用透光膠帶固定;
(5)將組合而成的所述大尺寸菲林母版再次翻面,去掉步驟(3)中所用的透光膠帶,再在所述小尺寸菲林母版的組合處沿著各面取的寬或長用透光膠帶固定;
(6)使用圖形測量機測定組合而成的所述大尺寸菲林母版的圖形尺寸,測量得出的尺寸要滿足工藝要求;
(7)在背光燈照明下,使用黑色油性筆涂抹、修復所述大尺寸菲林母版的乳劑面上的大缺陷;
(8)取用遮擋紫外線膜,將其裁剪成尺寸比所述菲林母版單面取圖形尺寸的長、寬各小5~10mm,裁剪數量與所述大尺寸菲林母版面取數相同;
(9)除去所述大尺寸菲林母版和各所述遮擋紫外線膜上的異物及靜電;
(10)將各所述遮擋紫外線膜以乳劑面平鋪在所述大尺寸菲林母版各個面取的非乳劑面上,并使各所述遮擋紫外線膜位于單面取圖形的中央,用除靜電毛刷將所述遮擋紫外線膜掃平貼緊,接著用透光膠帶沿所述遮擋紫外線膜各邊緣依次無氣泡粘貼牢固;以及
(11)在背光燈照明下,使用所述黑色油性筆涂抹、修復所述大尺寸菲林母版上所述遮擋紫外線膜覆蓋區域之外的區域的缺陷。
綜上所述,由于采用了以上技術方案,本發明的有益效果是:
1.???在大尺寸菲林母版設計中,通過在依照大尺寸菲林母版分割而成的各個小尺寸菲林母版上設置互補標記,能夠實現小尺寸菲林母版之間的對位;以及
2.???在大尺寸菲林母版組合的過程中,采用了遮擋紫外線膜,使其以乳劑面平鋪在大尺寸菲林母版各面取的非乳劑面上,這樣可以避免遮擋紫外線膜的乳劑面上的乳劑在操作過程中被摩擦掉,從而實現完全遮擋紫外線的功能;與此同時,各遮擋紫外線膜被裁減成小于面取圖形的尺寸,并且貼在各面取圖形中央,這樣在對大尺寸菲林母版檢查和修復的過程中,則不需要對大尺寸菲林母版的所有面取進行完全檢查,而只需要檢查沒貼遮擋紫外線菲林膜的各個面取四邊即可,方便了工藝的操作,大大節省了操作時間,提高了效率。
附圖說明
本發明將通過例子并參照附圖的方式說明,其中:
圖1是根據本發明的實施例,一種印刷等離子顯示器白BUS電極所采用的六面取大尺寸菲林母版的結構示意圖;
圖2是根據本發明的實施例,圖1中所示3的區域放大圖;
圖3是根據本發明的實施例,圖1中所示4的區域放大圖;
圖4是根據本發明的實施例,由圖1中六面取大尺寸菲林母版分割成的小尺寸菲林母版的示意圖;
圖5是根據本發明的實施例,黑色十字標記和白色十字標記的示意圖;
圖6是根據本發明的實施例,黑色十字標記和白色十字標記對位的示意圖;以及
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G03F 圖紋面的照相制版工藝,例如,印刷工藝、半導體器件的加工工藝;其所用材料;其所用原版;其所用專用設備
G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其專門適用于此的容器;其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如通過電子束;其制備
G03F1-22 .用于通過100nm或更短波長輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射線掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制備
G03F1-36 .具有臨近校正特征的掩膜;其制備,例如光學臨近校正(OPC)設計工藝
G03F1-38 .具有輔助特征的掩膜,例如用于校準或測試的特殊涂層或標記;其制備





