[發明專利]涂敷裝置和涂敷方法

有效

• 申請號: 201010201264.5
• 申請日: 2010-06-09
• 公開（公告）號: CN101920235A
• 公開（公告）日: 2010-12-22
• 發明（設計）人: 小菅忠男;前原信二;川隅幸宏;圓山勇;石田茂
• 申請（專利權）人: 株式會社日立工業設備技術
• 主分類號: B05B13/02
• 分類號: B05B13/02;B05C5/02;B05C13/00;G02F1/1339;B05D7/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 李洋

1.一種涂敷裝置，在一臺或多臺架臺上設置門形架，在該門形架上能移動地設有一個或多個涂敷頭，該涂敷頭備有充填了涂敷材料的材料收容筒和噴出來自該涂敷材料收容筒的涂敷材料的噴嘴噴出口；該門形架相對于設置在該架臺上的基板載置臺所搭載的基板移動，上述涂敷頭相對于該門形架移動，從而該涂敷頭相對于該基板移動，從上述噴嘴噴出口向上述基板上噴出上述涂敷材料；其特征在于，

從外部向該基板載置臺運入上述基板是在從運入側運送帶運入的高度保持為與該基板載置臺上的基板載置面相同高度的狀態下進行的，并且，從上述基板載置臺向外部運出該基板是在從該基板載置臺運出到運出側運送帶的高度保持為與上述基板載置臺上的基板載置面相同高度的狀態下進行的；

該涂敷裝置備有第1移動機構和第2移動機構；

上述第1移動機構，使該基板載置臺在載置著上述基板的狀態下、從運入側運送帶運入的該基板載置的位置移動到將該基板運出到運出側運送帶的位置；

上述第2移動機構使載置在該基板載置臺上的該基板轉動。

2.如權利要求1所述的涂敷裝置，其特征在于，

在上述架臺上設有多臺上述門形架；

設在上述多臺門形架之中的任意門形架上的上述涂敷頭，向上述基板上噴出不同于設在上述其它的門形架上的涂敷頭的種類的上述涂敷材料。

3.如權利要求1或2所述的涂敷裝置，其特征在于，設在上述同一個門形架上的上述多個涂敷頭之中的任意涂敷頭與其它的上述涂敷頭，向上述基板上噴出不同種類的上述涂敷材料。

4.如權利要求1、2或3所述的涂敷裝置，其特征在于，上述基板載置臺備有基板移動機構和基板位置固定機構；

上述基板移動機構利用使上述基板在上述基板載置臺上朝一個方向移動的滾子；

上述基板位置固定機構在上述基板載置臺上吸附基板，將上述基板位置固定在上述基板載置臺上。

5.如權利要求1、2或3所述的涂敷裝置，其特征在于，上述基板載置臺備有基板移動機構和基板位置固定機構；

上述基板移動機構在上述基板載置臺上向上述基板噴射空氣，使上述基板朝一個方向移動；

上述基板位置固定機構在上述基板載置臺上吸附基板，將上述基板位置固定在上述基板載置臺上。

6.如權利要求1至5中任一項所述的涂敷裝置，其特征在于，用耐壓罩覆蓋上述架臺上的上述基板載置臺的移動范圍，用空氣吸引機構把被該耐壓罩覆蓋著的內部設定為低于大氣壓的氣壓，在該低氣壓的環境內，用上述門形架的上述涂敷頭對載置在上述基板載置臺上的上述基板進行涂敷動作。

7.一種涂敷方法，在一臺或多臺架臺上設置門形架，在該門形架上能移動地設有一個或多個涂敷頭，該涂敷頭備有充填了涂敷材料的涂敷材料收容筒和噴出來自該涂敷材料收容筒的涂敷材料的噴嘴噴出口；該門形架相對于設置在該架臺上的基板載置臺所搭載的基板移動，上述涂敷頭相對于該門形架移動，從而該涂敷頭相對于該基板移動，從上述噴嘴噴出口向上述基板上噴出上述涂敷材料；其特征在于，

從外部向該基板載置臺運入上述基板是在從運入側運送帶運入的高度保持為與該基板載置臺上的基板載置面相同高度的狀態下進行的，并且，從上述基板載置臺向外部運出該基板是在從該基板載置臺運出到運出側運送帶的高度保持為與上述基板載置臺上的基板載置面相同高度的狀態下進行的；

該基板載置臺在載置著上述基板的狀態下、從運入側運送帶運入的該基板載置的位置移動到將該基板運出到運出側運送帶的位置；

使載置在上述基板載置臺上的上述基板轉動，修正θ軸偏差。

8.如權利要求7所述的涂敷方法，其特征在于，在上述架臺上設有多臺上述門形架；

設在上述多臺門形架之中的任意門形架上的上述涂敷頭，向上述基板上噴出不同于設在上述其它的門形架上的涂敷頭的種類的上述涂敷材料。

9.如權利要求7或8所述的涂敷方法，其特征在于，設在上述同一個門形架上的上述多個涂敷頭之中的任意涂敷頭與其它的上述涂敷頭，向上述基板上噴出不同種類的上述涂敷材料。

10.如權利要求7、8或9所述的涂敷方法，其特征在于，通過利用滾子的基板移動機構，使上述基板在上述基板載置臺上朝一個方向移動，進行上述基板在上述基板載置臺上的定位；

吸附定位后的上述基板，將上述基板位置固定在上述基板載置臺上。