[發明專利]測溫裝置及測溫系統

無效

• 申請號: 201010199367.2
• 申請日: 2010-06-07
• 公開（公告）號: CN102269629A
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發明（設計）人: 蒲春
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: G01K7/04
• 分類號: G01K7/04
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種測溫裝置，其特征在于，包括熱電偶、以及帶動所述熱電偶移動的動力裝置；其中，所述熱電偶通過連接桿固定到所述動力裝置上；所述連接桿的一端設有所述熱電偶，其另一端固定到所述動力裝置上；

在進行溫度測量時，所述動力裝置通過所述連接桿帶動所述熱電偶移動，使所述熱電偶與待測物體接觸以進行溫度測量。

2.根據權利要求1所述的測溫裝置，其特征在于，所述待測物體處于一密閉腔室中；則，

所述連接桿的外側還套設有波紋管，所述波紋管的一端通過一法蘭固定到所述動力裝置上，該波紋管的另一端通過另一法蘭固定到所述密閉腔室壁上；所述波紋管的內部與所述密閉腔室相通，所述波紋管的外部與大氣相通；

所述連接桿上設有所述熱電偶的一端可穿過所述另一法蘭伸入到所述密閉腔室內。

3.根據權利要求1所述的測溫裝置，其特征在于，所述動力裝置為氣缸或者電機。

4.根據權利要求1所述的測溫裝置，其特征在于，所述連接桿通過一彈力裝置固定到所述動力裝置上。

5.根據權利要求4所述的測溫裝置，其特征在于，所述彈力裝置為彈簧。

6.一種測溫系統，其特征在于，包含至少兩個權利要求1至5中任一項所述的測溫裝置；而且，所述至少兩個測溫裝置分設于所述待測物體的兩側。

7.根據權利要求6所述的測溫系統，其特征在于，所述測溫裝置的數量為偶數個。

8.根據權利要求7所述的測溫系統，其特征在于，所述偶數個測溫裝置對稱地設置在所述待測物體的兩側。

9.根據權利要求8所述的測溫系統，其特征在于，位于所述待測物體一側的測溫裝置為主測溫裝置，位于所述待測物體另一側的測溫裝置為副測溫裝置；

在所述副測溫裝置中，所述連接桿與所述動力裝置之間設有彈力裝置。

10.根據權利要求9所述的測溫系統，其特征在于，所述彈力裝置為彈簧。