[發(fā)明專利]電子裝置制造室及其形成方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010194902.5
• 申請(qǐng)日: 2005-06-01
• 公開（公告）號(hào): CN101866828A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: S·庫(kù)利塔;W·T·布勞尼干;M·伊納賈瓦
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/00
• 分類號(hào): H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

本申請(qǐng)是提交于2005年6月1日，申請(qǐng)?zhí)枮?00510103895.2，題為“電子裝置制造室及其形成方法”的專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

本申請(qǐng)要求美國(guó)臨時(shí)專利申請(qǐng)US?60/576902和US?60/587109的優(yōu)先權(quán)。US?60/576902于2004年6月2日提出，標(biāo)題為“半導(dǎo)體裝置制造工具及其使用方法”(摘要號(hào)No.8840/L)，US?60/587109于2004年7月12日提出，標(biāo)題為“電子裝置制造工具及其使用方法”(摘要號(hào)No.8840/L2)。這里將其全部引入作為參考。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及平板顯示和/或電子裝置制造，尤其涉及電子裝置制造室及其形成方法。

發(fā)明背景

由于平板顯示器中使用的基板尺寸增大，用于制造大型平板顯示器的電子裝置制造室(如處理和/或傳送室)的尺寸也必須增大。但是，基于該室的外形尺寸和/或重量，制造和運(yùn)輸這種室的難度也隨著該室的尺寸而增大。因此，需要改進(jìn)的用于制造大型平板顯示器的電子裝置制造室，包括改進(jìn)的運(yùn)輸這種室的方法。

發(fā)明內(nèi)容

在某些實(shí)施例中，提供了一種多部件室，包括：(1)中央部件，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；(2)第一側(cè)部件，適合與中央部件的第一側(cè)面連接；(3)第二側(cè)部件，適合與中央部件的第二側(cè)面連接。當(dāng)中央部件、第一側(cè)部件和第二側(cè)部件連接在一起時(shí)，構(gòu)成基本呈圓筒形的內(nèi)室區(qū)域。

在某些實(shí)施例中，提供了一種中央部件，具有：(1)第一開口側(cè)；(2)第二開口側(cè)，與第一開口側(cè)相對(duì)；(3)第一面，位于第一開口側(cè)和第二開口側(cè)之間，適合與室連接，并具有其大小允許基板通過(guò)的開口；(4)第二面，與第一面相對(duì)，位于第一開口側(cè)和第二開口側(cè)之間。該第二面適合與室連接，并具有至少兩個(gè)其大小允許基板通過(guò)的垂直堆疊的開口。該多部件室還包括：(1)第一側(cè)部件，適合與中央部件的第一開口側(cè)連接，并具有至少第一面，該第一面有一開口，該開口的大小允許基板通過(guò)；(2)第二側(cè)部件，適合與中央部件的第二開口側(cè)連接，并具有至少第一面，該第一面有一開口，該開口的大小允許基板通過(guò)。當(dāng)?shù)谝粋?cè)部件、第二側(cè)部件和中央部件連接在一起時(shí)，第一側(cè)部件的第一面的開口、第二側(cè)部件的第一面的開口以及中央部件的第二面的第一開口基本位于同一高度。

在某些實(shí)施例中，提供了一種多部件室，包括：(1)第一部件；(2)至少第二部件，與第一部件相連，以形成多部件室。每個(gè)部件的尺寸符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條，第三個(gè)多部件室的外形尺寸不符合陸地和航空運(yùn)輸規(guī)定的至少一條。

在某些實(shí)施例中，提供了一種多部件室，包括：(1)中央部件，具有第一側(cè)面、第二側(cè)面和具有半球形部分的底部；(2)第一側(cè)部件，適合與中央部件的第一側(cè)面連接；(2)第二側(cè)部件，適合與中央部件的第二側(cè)面連接。

在某些實(shí)施例中，提供了一種多部件室，包括：中央部件，該中央部件具有第一側(cè)面和第二側(cè)面和具有半球形部分和平坦部分的底部。平坦部分具有第一厚度，半球形部分具有小于第一厚度的第二厚度。多部件室還包括：(1)第一側(cè)部件，適合與中央部件的第一側(cè)面連接；(2)第二側(cè)部件，適合與中央部件的第二側(cè)面連接。

在某些實(shí)施例中，提供了一種多部件室，包括中央部件，具有：(1)第一側(cè)面；(2)第二側(cè)面；(3)第一面，包括至少一個(gè)開口，其大小允許基板通過(guò)；(4)第二面，包括至少三個(gè)開口，每一個(gè)的大小都允許基板通過(guò)。該多部件室還包括：(1)第一側(cè)部件，適合與中央部件的第一側(cè)面連接；(2)第二側(cè)部件，適合與中央部件的第二側(cè)面連接。

在某些實(shí)施例中，提供了一種多部件室，包括：(1)中央部件，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；(2)第一側(cè)部件，適合與中央部件的第一側(cè)面連接；(3)第二側(cè)部件，適合與中央部件的第二側(cè)面連接。中央部件的第一側(cè)面包括至少第一凹口，適合允許基板在多部件室中旋轉(zhuǎn)，并將基板從多部件室傳送到與多部件室的第一側(cè)部件相連的室。

在某些實(shí)施例中，提供了一種多部件室，包括：(1)中央部件，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；(2)第一側(cè)部件，適合與中央部件的第一側(cè)面連接，具有至少一個(gè)片狀結(jié)構(gòu)，適合減小第一側(cè)部件的側(cè)壁的移動(dòng)；(3)第二側(cè)部件，適合與中央部件的第二側(cè)面連接。

在某些實(shí)施例中，提供了一種多部件室，包括：(1)中央部件，具有第一側(cè)面和第二側(cè)面；(2)第一側(cè)部件，適合與中央部件的第一側(cè)面連接。該第一側(cè)部件包括至少一個(gè)支撐結(jié)構(gòu)，適合減小第一側(cè)部件的側(cè)壁的移動(dòng)。該多部件室還包括第二側(cè)部件，適合與中央部件的第二側(cè)面連接。該第二側(cè)部件包括至少一個(gè)支撐結(jié)構(gòu)，適合減小第二側(cè)部件的側(cè)壁的移動(dòng)。另外，中央部件、第一側(cè)部件和第二側(cè)部件連接在一起時(shí)，形成基本呈圓筒形內(nèi)室區(qū)域。