[發明專利]電子裝置制造室及其形成方法

有效

• 申請號: 201010194902.5
• 申請日: 2005-06-01
• 公開（公告）號: CN101866828A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發明（設計）人: S·庫利塔;W·T·布勞尼干;M·伊納賈瓦
• 申請（專利權）人: 應用材料股份有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

1.一種多部件電子裝置制造工具，包括：

數個電子裝置制造工具部件的第一部件；和

該數個電子裝置制造工具部件的至少一第二部件，該至少一第二部件與該第一部件相連，從而構成多部件電子裝置制造工具；

其中，該數個電子裝置制造工具部件中的每一個的尺寸使得多部件電子裝置制造工具部件中的每一個符合運輸規定；以及

經組合的該多部件電子裝置制造工具的總體尺寸不能使得該多部件電子裝置制造工具符合運輸規定。

2.如權利要求1所述的多部件電子裝置制造工具，其特征在于，該數個電子裝置制造工具部件包括：

中央部件，具有第一側面和第二側面；

第一側部件，適合與中央部件的第一側面連接；以及

第二側部件，適合與中央部件的第二側面連接。

3.如權利要求2所述的多部件電子裝置制造工具，其特征在于，中央部件具有基本呈矩形的形狀。

4.如權利要求2所述的多部件電子裝置制造工具，其特征在于，經組合的電子裝置制造工具是八邊形的。

5.如權利要求4所述的多部件電子裝置制造工具，其特征在于，該第一側部件是梯形的，該第二側部件是梯形的。

6.一種設備，包括：

單元，該單元具有數個部件，該些部件包括：

多部件室的中央部件；

多部件室的第一側部件；

多部件室的第二側部件，其中，第一和第二側部件適合與中央部件連接，以形成多部件室；

第一底座部件，與第一側部件相連；以及

第二底座部件，與第二側部件相連；

其中，該單元的數個部件中的每一個的尺寸單獨地符合陸地和航空運輸規定的至少一條，而經組合的多部件室不符合陸地和航空運輸規定的至少一條。

7.如權利要求6所述的設備，其特征在于，中央部件具有基本呈矩形的形狀。

8.如權利要求6所述的設備，其特征在于，經組合的電子裝置制造工具是八邊形的。

9.如權利要求6所述的設備，其特征在于，該第一側部件是梯形的，該第二側部件是梯形的。

10.一種制造多部件電子裝置制造工具的方法，包括：

提供數個電子裝置制造工具部件的至少一第一部件；和

將該數個電子裝置制造工具部件的至少一第二部件與該第一部件相連，從而構成多部件電子裝置制造工具；

其中，該數個電子裝置制造工具部件中的每一個的尺寸使得多部件電子裝置制造工具部件中的每一個符合運輸規定；以及

經組合的該多部件電子裝置制造工具的總體尺寸不能使得該多部件電子裝置制造工具符合運輸規定。

11.如權利要求10所述的制造多部件電子裝置制造工具的方法，其特征在于，提供數個電子裝置制造工具部件的至少一第一部件包括：

提供具有第一側面和第二側面的中央部件；

提供第一側部件，適合與中央部件的第一側面連接；以及

提供第二側部件，適合與中央部件的第二側面連接。

12.如權利要求11所述的制造多部件電子裝置制造工具的方法，其特征在于，提供中央部件包括提供具有基本呈矩形的形狀的中央部件。

13.如權利要求11所述的制造多部件電子裝置制造工具的方法，其特征在于，提供數個電子裝置制造工具部件的至少一第一部件包括提供數個部件，該些部件經組合成電子裝置制造工具時，該電子裝置制造工具是八邊形的。

14.如權利要求13所述的制造多部件電子裝置制造工具的方法，其特征在于，該第一側部件是梯形的，該第二側部件是梯形的。