[發明專利]質譜儀真空腔內樣品離子流大小檢測裝置

無效

• 申請號: 201010193989.4
• 申請日: 2010-06-08
• 公開（公告）號: CN102279301A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發明（設計）人: 劉召貴;張坤;明曉芳
• 申請（專利權）人: 江蘇天瑞儀器股份有限公司
• 主分類號: G01R19/00
• 分類號: G01R19/00;G01N27/62
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 曹毅

1.一種質譜儀真空腔內樣品離子流大小檢測裝置，包括質譜儀真空腔體(6)和一PC機(1)，所述PC機(1)內安裝有靜電仿真軟件，所述PC機(1)通過連接線連接有一皮安電流計(2)，其特征在于：所述真空腔體(6)內設置有一法拉第杯(4)，所述法拉第杯(4)通過單芯屏蔽電纜(7)連接至一固定在所述真空腔體(6)上的真空密封連接器(3)的一端，所述真空密封連接器(3)的另一端通過第一低容值屏蔽線(8)連接至所述皮安電流計(2)的輸入端，所述皮安電流計(2)的接地端通過第二低容值屏蔽電纜(9)連接至所述真空腔體(6)上；所述真空腔體(6)為整個系統的公共地，所述法拉第杯(4)產生的電流通過導線和皮安電流計流到公共地，形成測試回路。

2.根據權利要求1所述的質譜儀真空腔內樣品離子流大小檢測裝置，其特征在于：所述法拉第杯(4)通過一可伸縮支架(5)固定于所述真空腔體(6)內。

3.根據權利要求2所述的質譜儀真空腔內樣品離子流大小檢測裝置，其特征在于：所述可伸縮支架(5)的軸向和徑向可調。