[發(fā)明專利]質(zhì)譜儀真空腔內(nèi)樣品離子流大小檢測(cè)裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010193989.4
• 申請(qǐng)日: 2010-06-08
• 公開（公告）號(hào): CN102279301A
• 公開（公告）日: 2011-12-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉召貴;張坤;明曉芳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇天瑞儀器股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R19/00
• 分類號(hào): G01R19/00;G01N27/62
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 曹毅

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種質(zhì)譜儀真空腔內(nèi)樣品離子流大小檢測(cè)裝置。

背景技術(shù)

質(zhì)譜儀又稱質(zhì)譜計(jì)，一種分離和檢測(cè)不同同位素的儀器，即根據(jù)帶電粒子在電磁場(chǎng)中能夠偏轉(zhuǎn)的原理，按物質(zhì)原子、分子或分子碎片的質(zhì)量差異進(jìn)行分離和檢測(cè)物質(zhì)組成的一類儀器。質(zhì)譜儀以離子源、質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器為核心。離子源是使試樣分子在高真空條件下離子化的裝置。電離后的分子因接受了過(guò)多的能量會(huì)進(jìn)一步碎裂成較小質(zhì)量的多種碎片離子和中性粒子。它們?cè)诩铀匐妶?chǎng)作用下獲取具有相同能量的平均動(dòng)能而進(jìn)入質(zhì)量分析器。質(zhì)量分析器是將同時(shí)進(jìn)入其中的不同質(zhì)量的離子，按質(zhì)荷比m/z大小分離的裝置。分離后的離子依次進(jìn)入離子檢測(cè)器，采集放大離子信號(hào)，經(jīng)計(jì)算機(jī)處理，繪制成質(zhì)譜圖。離子源、質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器都各有多種類型。質(zhì)譜儀按應(yīng)用范圍分為同位素質(zhì)譜儀、無(wú)機(jī)質(zhì)譜儀和有機(jī)質(zhì)譜儀；按分辨本領(lǐng)分為高分辨、中分辨和低分辨質(zhì)譜儀；按工作原理分為靜態(tài)儀器和動(dòng)態(tài)儀器。

四級(jí)桿質(zhì)譜儀檢測(cè)的是離子質(zhì)量數(shù)，需要在高真空的工作環(huán)境中工作。在研發(fā)過(guò)程中需要檢測(cè)離子源的離子化效率，一般先用靜電場(chǎng)仿真軟件模擬離子聚焦效果，再采用電子倍增管檢測(cè)離子個(gè)數(shù)，但電子倍增管對(duì)離子電流由飽和限制，當(dāng)離子個(gè)數(shù)超過(guò)其飽和值就無(wú)法檢測(cè)甚至嚴(yán)重影響其使用壽命。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種質(zhì)譜儀真空腔內(nèi)樣品離子流大小檢測(cè)裝置，該裝置受到的外部干擾影響小，可以有效的檢測(cè)到樣品離子流的大小。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)效果，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

一種質(zhì)譜儀真空腔內(nèi)樣品離子流大小檢測(cè)裝置，包括質(zhì)譜儀真空腔體和一PC機(jī)，所述PC機(jī)內(nèi)安裝有靜電仿真軟件，所述PC機(jī)通過(guò)連接線連接有一皮安電流計(jì)，所述真空腔體內(nèi)設(shè)置有一法拉第杯，所述法拉第杯通過(guò)單芯屏蔽電纜連接至一固定在所述真空腔體上的真空密封連接器的一端，所述真空密封連接器的另一端通過(guò)第一低容值屏蔽線連接至所述皮安電流計(jì)的輸入端，所述皮安電流計(jì)的接地端通過(guò)第二低容值屏蔽電纜連接至所述真空腔體上；所述真空腔體為整個(gè)系統(tǒng)的公共地，所述法拉第杯產(chǎn)生的電流通過(guò)導(dǎo)線和皮安電流計(jì)流到公共地，形成測(cè)試回路。

進(jìn)一步的，所述法拉第杯通過(guò)一可伸縮支架固定于所述真空腔體內(nèi)。

優(yōu)選的，所述可伸縮支架的軸向和徑向可調(diào)。

本發(fā)明的質(zhì)譜儀真空腔內(nèi)樣品離子流大小檢測(cè)裝置，可以檢測(cè)出質(zhì)譜儀真空腔體內(nèi)部各個(gè)位置樣品離子的強(qiáng)弱和離子分布情況，解決了真空腔體內(nèi)部離子流運(yùn)行不可見、無(wú)法檢測(cè)的狀況。

上述說(shuō)明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。本發(fā)明的具體實(shí)施方式由以下實(shí)施例及其附圖詳細(xì)給出。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的質(zhì)譜儀真空腔內(nèi)樣品離子流大小檢測(cè)裝置的一實(shí)施例示意圖。

圖2是本發(fā)明的質(zhì)譜儀真空腔內(nèi)樣品離子流大小檢測(cè)裝置的另一實(shí)施例示意圖。

圖3為本發(fā)明的質(zhì)譜儀真空腔內(nèi)樣品離子流大小檢測(cè)裝置測(cè)試樣品離子流的一組曲線圖。

圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明：1.PC機(jī)，2.皮安電流計(jì)，3.真空密封連接器，4.法拉第杯，5.可伸縮支架，6.質(zhì)譜儀真空腔體，7.單芯屏蔽線，8.第一低容值屏蔽電纜，9.第二低容值屏蔽電纜，10.四級(jí)桿裝置。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)的介紹。

實(shí)施例1：

請(qǐng)參見圖1所示，一種質(zhì)譜儀真空腔內(nèi)樣品離子流大小檢測(cè)裝置，包括質(zhì)譜儀真空腔體6和一PC機(jī)1，所述PC機(jī)1內(nèi)安裝有靜電仿真軟件，所述PC機(jī)1通過(guò)連接線連接有一皮安電流計(jì)2，所述真空腔體6內(nèi)設(shè)置有一法拉第杯4，所述法拉第杯4通過(guò)單芯屏蔽電纜7連接至一固定在所述真空腔體6上的真空密封連接器3的一端，所述真空密封連接器3的另一端通過(guò)第一低容值屏蔽線8連接至所述皮安電流計(jì)2的輸入端，所述皮安電流計(jì)2的接地端通過(guò)第二低容值屏蔽電纜9連接至所述真空腔體6上；所述真空腔體6為整個(gè)系統(tǒng)的公共地，所述法拉第杯4產(chǎn)生的電流通過(guò)導(dǎo)線和皮安電流計(jì)流到公共地，形成測(cè)試回路。

進(jìn)一步的，所述法拉第杯4通過(guò)一可伸縮支架5固定于所述真空腔體6內(nèi)。

優(yōu)選的，所述可伸縮支架5的軸向和徑向可調(diào)。