[發明專利]吸附檢測解除方法、處理裝置及計算機能讀取的存儲介質

無效

• 申請號: 201010191920.8
• 申請日: 2010-06-01
• 公開（公告）號: CN101901746A
• 公開（公告）日: 2010-12-01
• 發明（設計）人: 田中誠治;古屋敦城
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/683
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種吸附檢測解除方法，該吸附檢測解除方法在使上述被處理體脫離載置被處理體的載置臺之前檢測上述被處理體是否吸附在上述載置臺上，在吸附著的情況下解除吸附，其特征在于，

包括以下工序：

(1)以規定的吸附判定壓力自上述載置臺的載置面向上述被處理體的背面供給流體；

(2)檢測從以上述吸附判定壓力開始供給流體起經過了規定的吸附判定時間時的上述流體的流量；

(3)判定在上述(2)工序中檢測出的上述流體的流量是否為規定的吸附判定流量以下；

(4)根據上述(3)工序中的判定結果，在上述流體的流量為上述吸附判定流量以下的情況下，使向上述被處理體的背面供給流體的壓力為比上述吸附判定壓力高的吸附解除壓力。

2.根據權利要求1所述的吸附檢測解除方法，其特征在于，

還包括這樣的工序：

(5)在使向上述被處理體的背面供給流體的壓力為上述吸附解除壓力之后，對直到經過規定的吸附解除判定時間為止的、向上述被處理體的背面供給的上述流體的流量是否為規定的吸附解除判定流量以上進行判定。

3.根據權利要求2所述的吸附檢測解除方法，其特征在于，

上述吸附解除判定流量的值小于上述吸附判定流量的值。

4.根據權利要求2或3所述的吸附檢測解除方法，其特征在于，

在上述(5)工序的判定結果是上述流體的流量為上述吸附解除判定流量以上的情況下，還包括這樣的工序：

(6)判定向上述被處理體的背面供給的上述流體的流量是否為規定的吸附判定流量以上，判定是否解除了上述被處理體向上述載置臺的吸附。

5.根據權利要求4所述的吸附檢測解除方法，其特征在于，

在上述(5)工序的判定結果是吸附未解除的情況下，或者在上述(6)工序的再次判定結果是吸附未解除的情況下，還包括這樣的工序：

(7)驅動用于抬起上述被處理體的周緣部的升降銷，在上述被處理體的撓曲容許范圍內僅抬起上述被處理體的周緣部，將該被處理體的周緣部從上述載置臺剝離。

6.根據權利要求5所述的吸附檢測解除方法，其特征在于，

在上述(7)工序中，驅動上述升降銷而抬起的上述被處理體的周緣部是上述被處理體的四角。

7.根據權利要求5所述的吸附檢測解除方法，其特征在于，

在上述(7)工序中，驅動上述升降銷而抬起的上述被處理體的周緣部是上述被處理體的相對的兩條邊。

8.根據權利要求5～7中任一項所述的吸附檢測解除方法，其特征在于，

在上述(7)工序中，利用上述升降銷僅抬起上述被處理體的周緣部的動作在規定的限制時間內反復實施。

9.根據權利要求5～8中任一項所述的吸附檢測解除方法，其特征在于，

一邊對上述被處理體進行電荷消除一邊進行上述(7)工序。

10.根據權利要求5～9中任一項所述的吸附檢測解除方法，其特征在于，

在上述(7)工序中，再次判定向上述被處理體的背面供給的上述流體的流量是否為上述吸附判定流量以下，判定是否解除了上述被處理體向上述載置臺的吸附。

11.根據權利要求10所述的吸附檢測解除方法，其特征在于，

在上述(3)工序的判定結果是未吸附著的情況下，或者在上述(6)工序的再次判定結果是解除了吸附的情況下，或者在上述(7)工序的再次判定結果是解除了吸附的情況下，利用上述升降銷使上述被處理體脫離上述載置臺。

12.根據權利要求10或11所述的吸附檢測解除方法，其特征在于，

上述(7)工序中的再次判定持續規定的限制時間，在直到上述限制時間為止仍未解除上述被處理體向上述載置臺的吸附的情況下，終止處理。

13.根據權利要求1～12中任一項所述的吸附檢測解除方法，其特征在于，

在自上述載置臺的載置面向上述被處理體的背面供給流體時，上述被處理體中央部分的鼓起部達到臨界值的情況下，還包括這樣的工序：

(8)驅動上述升降銷而抬起上述被處理體的外側部分，將上述被處理體的外側部分在上述被處理體的撓曲容許范圍內自上述載置臺剝離。