[發(fā)明專利]硅片清洗制絨槽無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010186514.2 | 申請日： | 2010-05-31 |
| 公開（公告）號： | CN101831713A | 公開（公告）日： | 2010-09-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王瑞勛 | 申請（專利權(quán)）人： | 常州億晶光電科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 常州市維益專利事務(wù)所 32211 | 代理人： | 周祥生 |
| 地址： | 213200 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 硅片 清洗 制絨槽 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種硅片清洗制絨槽，它包括槽體(1)和加熱管(2)，其特征是：在槽體(1)的槽底(3)上設(shè)有加熱管支撐架(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述硅片清洗制絨槽，其特征是：所述加熱管支撐架(4)由二塊對稱分布的鐵氟龍塑料塊組成，在每塊鐵氟龍塑料塊上開設(shè)有加熱管限位槽(5)，加熱管限位槽(5)到槽底(3)的高度為槽內(nèi)溶液高度的1/5～1/4。
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