[發明專利]基板位置檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 201010185073.4
• 申請日: 2010-05-20
• 公開（公告）號: CN102253505A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發明（設計）人: 吳健
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及液晶面板技術領域，特別涉及一種基板位置檢測方法及裝置。

背景技術

通常，在制造液晶面板的過程中，需要在反應腔內對基板進行處理。當基板被傳送至反應腔時，需要對基板的位置進行檢測，以判定基板是否到達指定位置。

目前，常用的基板位置檢測裝置根據磁感應原理制成，該裝置包括置于反應腔內的磁頭和穿過反應腔體的感應線，感應線一部分置于反應腔內，用于感應磁頭位置變化；該感應線的一部分置于反應腔外，與信號處理單元連接，信號處理單元與控制反應腔的設備控制模塊相連接；基板在傳送過程中帶動磁頭的位置變化，從而導致磁感應強度發生改變，反應腔外的信號處理模塊根據接收到的磁感應強度對基板的位置進行判定，并向設備控制模塊的輸入端輸出相應的電壓或電流值。

在實現本發明的過程中，發明人發現現有技術中至少存在如下問題：

由于磁頭和感應線同處反應腔內，而反應腔內為強酸、強堿、有機藥液或水環境，磁頭、感應線極易被腐蝕進而導致感應異常，從而降低基板位置檢測的靈敏度。

發明內容

本發明的實施例提供一種基板位置檢測方法及裝置，能夠提高基板位置檢測的靈敏度。

本發明實施例采用的技術方案為：

一種基板位置檢測裝置，包括：設置于反應腔內的支撐設備，所述支撐設備上架設有至少一套底部設有反光板的擺動設備，所述每套擺動設備隨基板位置變化而擺動，所述反應腔外對應于所述反光板的位置設置有光收發設備，所述光收發設備用于向所述反光板發射光線，并根據由所述反光板反射回來的光線的強度判定基板是否到達檢測位置；

其中，所述光收發設備與所述反光板之間的反應腔壁為透光性材質。

一種基板位置檢測方法，在反應腔內設置支撐設備，所述支撐設備上架設有至少一套底部設有反光板的擺動設備，所述每套擺動設備隨基板位置變化而擺動，所述反應腔外對應于所述反光板的位置設置有光收發設備，所述光收發設備與所述反光板之間的反應腔壁為透光性材質；

所述方法包括：

光收發設備向反光板發射光線；

光收發設備接收所述反光板反射回來的光線；

光收發設備比較所述反光板反射回來的光線強度與預設的光強閾值；

若所述反光板反射回來的光線強度大于或等于預設的光強閾值，判定基板未到達檢測位置；

若所述反光板反射回來的光線強度小于預設的光強閾值，判定基板到達檢測位置。

本發明實施例基板位置檢測方法及裝置，光收發設備能夠將發射出的光線經過透光性反應腔壁照射至反光板上，并接收反光板經過該透光性反應腔壁反射回來的光線，當基板位置發生變化時，擺動設備擺動而導致反光板的位置發生變化，反光板反射至光收發設備的光線的強度也會隨之變化，光收發設備根據接收到的光線的強度對基板的位置進行判定。與現有技術相比，采用了光感方式進行位置檢測，能夠有效地提高檢測范圍和靈敏度；光收發設備位于反應腔外，可以避免反應腔內強酸、強堿、有機藥液或水環境的腐蝕，從而提高光收發設備的工作壽命，保證基板位置檢測的靈敏度。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖。

圖1為本發明實施例1中的基板位置檢測裝置的主視圖；

圖2為本發明實施例1中的基板位置檢測裝置在未感知到基板時的側視圖；

圖3為本發明實施例1中的基板位置檢測裝置在感知到基板時的側視圖；

圖4為本發明實施例2中的基板位置檢測裝置的主視圖；

圖5為本發明實施例3中的基板位置檢測裝置的主視圖；

圖6為本發明實施例4中的基板位置檢測方法流程圖。

圖中標記：1、發射端；2、接收端；3、擺體；4、反光板；5、滾輪；6、支架；7、固定板；8、固定螺絲；9、連接桿；9a、連接桿與支架接口部；9b、連接桿與擺體接口部；10、墊片；11、卡定裝置；12、反應腔；13、即插拔接頭；14、傳動輪；15、基板。

具體實施方式