[發明專利]基板位置檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 201010185073.4
• 申請日: 2010-05-20
• 公開（公告）號: CN102253505A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發明（設計）人: 吳健
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種基板位置檢測裝置，其特征在于，包括：設置于反應腔內的支撐設備，所述支撐設備上架設有至少一個底部設有反光板的擺動設備，所述每個擺動設備隨基板位置變化而擺動，所述反應腔外對應于所述反光板的位置設置有光收發設備，所述光收發設備用于向所述反光板發射光線，并根據由所述反光板反射回來的光線的強度判定基板是否到達檢測位置；

其中，所述光收發設備與所述反光板之間的反應腔壁為透光性材質。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述基板位置檢測裝置的兩側還設有傳動輪，用于將所述基板向所述基板位置檢測裝置的位置傳送；所述擺動設備包括擺體以及凸設于所述擺體頂部的滾輪，所述滾輪的高度高于傳動輪的高度。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述支撐設備包括立于反應腔底壁且隔開設置的支架。

4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述擺動設備位于所述支撐設備的兩個支架之間，所述擺動設備與所述兩個支架軸接。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述擺動設備的上部開設有圓柱形孔洞，所述圓柱形孔洞的內部穿設有連接桿，所述連接桿的兩端分別架設于所述支撐設備的兩個支架上；位于所述圓柱形孔洞內的連接桿部分為圓柱體。

6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述光收發設備包括發射端、接收端以及信號處理模塊；

所述發射端用于向所述反光板發射光線；所述接收端用于接收所述反光板反射回來的光線；所述信號處理模塊用于將所述接收端接收到的光線的強度，與預先設定的光強閾值進行比較，判定所述基板是否到達檢測位置，并輸出相應的電壓或電流值。

7.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，還包括與所述光收發設備相連的即插拔接頭，所述光收發設備通過所述即插拔接頭與設備控制模塊的輸入端連接，所述設備控制模塊用于根據所述信號處理模塊輸出的電壓或電流值，發出相應的控制指令。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的裝置，其特征在于，所述反光板為耐腐蝕材質。

9.一種基板位置檢測方法，其特征在于，在反應腔內設置支撐設備，所述支撐設備上架設有至少一套底部設有反光板的擺動設備，所述每套擺動設備隨基板位置變化而擺動，所述反應腔外對應于所述反光板的位置設置有光收發設備，所述光收發設備與所述反光板之間的反應腔壁為透光性材質；

所述方法包括：

光收發設備向反光板發射光線；

光收發設備接收所述反光板反射回來的光線；

光收發設備比較所述反光板反射回來的光線強度與預設的光強閾值；

若所述反光板反射回來的光線強度大于或等于預設的光強閾值，判定基板未到達檢測位置；

若所述反光板反射回來的光線強度小于預設的光強閾值，判定基板到達檢測位置。

10.根據權利要求9所述的方法，其特征在于，所述光強閾值為所述擺動設備未擺動時所述反光板反射回來的光線強度的最小值。