[發明專利]懸浮輸送裝置以及懸浮單元

有效

• 申請號: 201010182918.4
• 申請日: 2010-05-18
• 公開（公告）號: CN101905808A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發明（設計）人: 平田賢輔;橫浜真誠
• 申請（專利權）人: 株式會社IHI
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G51/03
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強

技術領域

本發明涉及向輸送方向懸浮輸送玻璃基板等基板的懸浮輸送裝置、以及利用壓縮空氣等懸浮氣體的壓力使基板懸浮的懸浮單元。

背景技術

近年，在清潔輸送的領域里，關于懸浮輸送裝置進行了各種開發，已知有專利文獻1(日本特開2009-105377號公報)、專利文獻2(日本特開2009-12872號公報)、以及專利文獻3(日本特開2009-12873號公報)所記載的技術等。以下說明現有技術的懸浮輸送裝置的結構等。

現有技術的懸浮輸送裝置具備裝置框架(支撐框架)，在該裝置框架上設有向輸送方向輸送基板的輸送機構(輸送單元)。另外，在該裝置框架上，沿著輸送方向留出間隔而設有多個容納作為懸浮氣體的壓縮空氣的容器。各容器內部連接在提供壓縮空氣的風扇等懸浮空氣供給源上。在各容器上，沿著與輸送方向正交的輸送寬度方向設有多個利用壓縮空氣的壓力使基板懸浮的懸浮單元。即，在多個容器上，沿著輸送方向以及輸送寬度方向設有多個懸浮單元。在各懸浮單元的上面形成有噴出壓縮空氣的噴嘴。

在由懸浮氣體供給源向各容器的內部提供壓縮空氣并使壓縮空氣從各懸浮單元的噴嘴噴出的同時，使輸送機構適當地工作。由此，可以向輸送方向懸浮輸送基板。

近年，作為懸浮輸送對象的玻璃基板等基板的大型化迅速地發展。并且弄清楚，當基板的大小為例如一邊是3m以上，并且在基板上有彎曲等變形時，懸浮輸送中的基板的輸送寬度方向的端部附近向下方大幅度地撓曲。因此，當在大型的基板上存在彎曲等變形的情況下，存在如下問題，即，基板的輸送寬度方向的端面與懸浮單元等干擾，從而基板容易受損，并且很難實現順利的懸浮輸送。

發明內容

于是，本發明的目的在于提供能夠根據基板來調節懸浮氣體量，從而防止基板和裝置的干擾的懸浮輸送裝置以及懸浮單元。

本發明的懸浮輸送裝置，是將基板向輸送方向進行懸浮輸送的懸浮輸送裝置，具備：設置在裝置框架上，并向上述輸送方向輸送基板的輸送機構；設置在上述裝置框架上，內部與提供懸浮氣體的懸浮氣體供給源相連接，并容納懸浮氣體的容器；以及沿著上述輸送方向以及與上述輸送方向正交的輸送寬度方向設置在上述容器上，并利用懸浮氣體的壓力使基板懸浮的多個懸浮單元。多個上述懸浮單元的每一個具備在上面形成有噴出懸浮氣體的噴嘴的空心狀的懸浮單元主體；和設置在上述懸浮單元主體的下側，內部與上述容器的內部連通，并在上側具有將懸浮氣體導入到上述懸浮單元主體的內部的開口部的空心狀的懸浮單元腳。進而，多個上述懸浮單元之中，排列在上述輸送寬度方向的兩側的側懸浮單元，除了具備上述懸浮單元主體以及上述懸浮單元腳之外，還具備調節上述開口部的開口面積的調節部件。

再者，在此，所謂“設置”，除了是直接地設置的情況之外，也包括通過托架等中介部件間接地設置的情況、以及一體形成的情況。另外，在“懸浮氣體”中也包括壓縮空氣，氬氣，氮氣等。

根據上述懸浮輸送裝置，由上述懸浮氣體供給源向上述容器的內部提供懸浮氣體，并使懸浮氣體從各懸浮單元的上述噴嘴噴出，同時使上述輸送機構適當工作。由此，可以將基板向輸送方向進行懸浮輸送(在使其懸浮的狀態下進行輸送)。

在此，當在大型的基板(例如，一邊為3m以上的大小的基板)上存在彎曲等變形的情況下，根據基板的上述輸送寬度方向的端部附近(包括端部)的懸浮狀態(懸浮行動)，利用各調節部件調節上述開口部的開口面積。由此，可以將各側懸浮單元的懸浮氣體的噴出流量設定為適當的噴出流量，即便在基板W較大且存在變形的情況下，也能夠抑制懸浮輸送中的基板的上述輸送寬度方向的端部附近向下方撓曲。

本發明的懸浮單元是利用懸浮氣體的壓力使基板懸浮的懸浮單元，具備：在上面形成有噴出懸浮氣體的噴嘴的懸浮單元主體；設置在上述懸浮單元主體的下側，并在上側具有將懸浮氣體導入到上述懸浮單元主體的內部的開口部(導入開口部)的懸浮單元腳；以及調節上述開口部的開口面積的調節部件。

如果將多個上述懸浮單元用作上述懸浮輸送裝置的多個上述側懸浮單元，可以起到與上述懸浮輸送裝置的作用相同的作用。

根據本發明，即便在大型的基板上存在彎曲等變形的情況下，也能夠抑制懸浮輸送中的基板的上述輸送寬度方向的端部附近向下方撓曲，因此可以避免基板的上述輸送寬度方向的端面與上述側懸浮單元等的干擾。其結果，能夠足以防止基板的損傷，從而順利地進行基板的懸浮輸送。

附圖說明

圖1(a)是本發明的一個實施方式的側懸浮單元的俯視圖，圖1(b)是沿著圖1(a)的IB-IB線的剖視圖。