[發明專利]懸浮輸送裝置以及懸浮單元

有效

• 申請號: 201010182918.4
• 申請日: 2010-05-18
• 公開（公告）號: CN101905808A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發明（設計）人: 平田賢輔;橫浜真誠
• 申請（專利權）人: 株式會社IHI
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G51/03
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強

1.一種懸浮輸送裝置，將基板向輸送方向進行懸浮輸送，其特征在于，

具備：設置在裝置框架上，并向上述輸送方向輸送基板的輸送機構；

設置在上述裝置框架上，內部與提供懸浮氣體的懸浮氣體供給源相連接，并容納懸浮氣體的容器；以及

沿著上述輸送方向以及與上述輸送方向正交的輸送寬度方向設置在上述容器上，并利用懸浮氣體的壓力使基板懸浮的多個懸浮單元，

多個上述懸浮單元的每一個具備：在上面形成有噴出懸浮氣體的噴嘴的空心狀的懸浮單元主體；和設置在上述懸浮單元主體的下側，內部與上述容器的內部連通，并在上側具有將懸浮氣體導入到上述懸浮單元主體的內部的開口部的空心狀的懸浮單元腳，

多個上述懸浮單元之中排列在上述輸送寬度方向的兩側的側懸浮單元，除了具備上述懸浮單元主體以及上述懸浮單元腳之外，還具備調節上述開口部的開口面積的調節部件。

2.如權利要求1所述的懸浮輸送裝置，其特征在于，

在上述側懸浮單元的上述懸浮單元主體的上面形成有設置孔，

上述調節部件以能夠繞鉛垂軸心旋轉的方式嵌入安裝在上述設置孔中，

上述調節部件構成為能夠從上方操作，并且能夠通過繞鉛垂軸心的旋轉來改變上述開口部的開口面積。

3.如權利要求1或2所述的懸浮輸送裝置，其特征在于，

上述噴嘴沿著上述懸浮單元主體的外緣形成，并且，朝向鉛垂方向向上述懸浮單元主體的中心側傾斜而形成。

4.一種懸浮單元，利用懸浮氣體的壓力使基板懸浮，其特征在于，具備：

在上面形成有噴出懸浮氣體的噴嘴的懸浮單元主體；

設置在上述懸浮單元主體的下側，并在上側具有將懸浮氣體導入到上述懸浮單元主體的內部的開口部的懸浮單元腳；以及

調節上述開口部的開口面積的調節部件。

5.如權利要求4所述的懸浮單元，其特征在于，

在上述懸浮單元主體的上面形成有設置孔，

上述調節部件以能夠繞鉛垂軸心旋轉的方式嵌入安裝在上述設置孔中，

上述調節部件構成為能夠從上方操作，并且能夠通過繞鉛垂軸心的旋轉來改變上述開口部的開口面積。

6.如權利要求5所述的懸浮單元，其特征在于，

在上述設置孔的周緣背面，沿著圓周方向留出間隔而形成多個配合部，

上述調節部件相對于上述懸浮單元主體能夠上下移動，

在上述調節部件的外周面上，以與上述懸浮單元主體的上述設置孔的周緣背面相對的方式形成法蘭盤，

在上述法蘭盤上，沿著圓周方向留出間隔而形成能夠與多個上述配合部相配合的多個對方配合部，

除了具備上述懸浮單元主體、上述懸浮單元腳以及上述調節部件之外，還具備將上述調節部件向上方加載的加載部件。

7.如權利要求4至6中任一項所述的懸浮單元，其特征在于，

上述噴嘴沿著上述懸浮單元主體的外緣形成，并且，朝向鉛垂方向向上述懸浮單元主體的中心側傾斜而形成。