[發(fā)明專利]一種空間像的質(zhì)量檢測方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010181621.6
• 申請日: 2010-05-21
• 公開（公告）號: CN102253604A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發(fā)明（設計）人: 張勇;宋海軍
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京連和連知識產(chǎn)權代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

技術領域

本發(fā)明涉及光刻領域，尤其涉及光刻機成像系統(tǒng)所成空間像的質(zhì)量檢測方法。

背景技術

光刻機曝光過程中，由于溫度的影響，導致鏡頭變形，產(chǎn)生彗差和球差。碩士論文《大口徑長焦距像質(zhì)檢測系統(tǒng)》中研究了大口徑長焦距像質(zhì)檢測系統(tǒng)，利用平行光束經(jīng)過鏡頭后照射在Ronchi光柵上，在Ronchi光柵后周期性的位置會形成Talbot像，在光柵Talbot像的位置再放置一個相同的Ronchi光柵就會產(chǎn)生莫爾條紋，當入射的平行光束在垂直光柵線方向有個微小的角度變化，莫爾條紋就會產(chǎn)生一個相應的明顯移動；通過圖像采集CCD系統(tǒng)，獲得莫爾條紋的圖像，輸入計算機圖像處理軟件，計算莫爾條紋的移動量，接著可以求出入射波面的斜率，采用二維掃描的方法，測量鏡頭不同位置的子孔徑的波面斜率，通過波面重構(gòu)算法重構(gòu)整個鏡頭波面斜率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種求解由于鏡頭變形所產(chǎn)生球差和彗差的方法。

通過鏡頭進行成像，將所成的空間像分成n(n≥3)段，空間像總的能量等于各段空間像能量之和；將通過鏡頭所成空間像的能量用下列數(shù)學模型表示：

I＝I₁+I₂+Λ+I_n，n≥3

其中，i＝1，2，Λ，n，其中aix表示空間像寬度，aiz表示空間像高度；

當n為偶數(shù)時，其中，a_i表示各段的相對光強，A表示光強幅值，T表示離心率；

mi=A·ai·(1-T),i=n2+1,Λ,n]]>

當n為奇數(shù)時，mi=A·ai·(1+T),i=1,Λ,n-12]]>

mi=A·ai,i=n+12]]>