[發明專利]一種空間像的質量檢測方法

有效

• 申請號: 201010181621.6
• 申請日: 2010-05-21
• 公開（公告）號: CN102253604A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發明（設計）人: 張勇;宋海軍
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司 11278
• 代理人: 王光輝

1.一種求解由于鏡頭變形所產生空間像的球差和彗差的方法，通過鏡頭進行成像，將所成的空間像分成n(n≥3)段，空間像總的能量等于各段空間像能量之和；將通過鏡頭所成空間像的能量用下列數學模型表示：

I＝I₁+I₂+Λ+I_n，n≥3

其中，i＝1，2，Λ，n，其中aix表示空間像寬度，aiz表示空間像高度；

當n為偶數時，m_i＝A·a_i·(1+T)，其中，a_i表示各段的相對光強，A表示光強幅值，T表示離心率；

m_i＝A·a_i·(1-T)，i=n2+1,Λ,n]]>

當n為奇數時，m_i＝A·a_i·(1+T)，i=1,Λ,n-12]]>

m_i＝A·a_i，i=n+12]]>

m_i＝A·a_i·(1-T)，i=n+32,...,n]]>

fi=(1+|ziaiz|3)-13,]]>i＝1，2，Λ，n

x_i＝(x-x₀)·cos(-γ_i)+(z-z₀)·sin(-γ_i)-dx_i，i＝1，2，Λ，n，其中，γ_i表示各段光軸傾斜角，x為數學模型中的X方向坐標值，z為數學模型中的Z方向坐標值，x₀表示X方向上的水平平移，z₀表示Z方向上的垂向平移；

z_i＝-(x-x₀)·sin(-γ_i)+(z-z₀)·cos(-γ_i)-dz_i，i＝1，2，Λ，n，

i＝1，2，Λ，n，其中，表示各段由球差Z7、彗差Z9造出的相位偏移，H表示水平空間像非對稱參數，V表示垂向空間像非對稱參數；

dxi=∂xi∂Z7·H+∂xi∂Z9·V,]]>i＝1，2，Λ，n

dzi=∂zi∂Z7·H+∂zi∂Z9·V,]]>i＝1，2，Λ，n

根據上述模型中的參數求解得到成像鏡頭的球差Z7和彗差Z9。

2.一種空間像質量檢測方法，其步驟如下：

步驟1：啟動對準系統；

步驟2：同步采集掩模上掃描標記成像的位置數據以及光強信息數據，并對位置數據進行空間變換，對光強信息數據進行暗電流過濾和卷積過濾，同時進行采樣計數，所述位置數據為絕對位置數據，空間變換后，得到相對位置數據；

步驟3：判斷采樣點的數量是否達到了所設定的采樣點總數，若是，轉入步驟4，若否，轉入步驟2；

步驟4：利用最小二乘法擬合三維拋物曲面，得到一組初始參數值X＝(x₀，z₀，A，aix，aiz，H，V，T)^T，并應用參數值X計算光強殘差平方和Q；

步驟5：輸入初始參數值X，利用Marquardt算法計算擬合參數的迭代增量ΔX；

步驟6：輸入迭代增量ΔX，計算得到X_new＝X+ΔX以及光強殘差平方和Q_new；

步驟7：判斷0πQ-Q_newπtolerance(閾值)，若是，轉入步驟8，若否，則判斷X是否超出范圍，以及迭代次數是否超出最大迭代次數，若是，則報錯并轉入步驟10，若否，則重新設置X和Q，轉入步驟4；步驟8：由X_new計算HP和VP參數，其中，HP＝H*scale，VP＝V*scale，scale為尺度因子；

步驟9：計算球差和彗差Z7=HP/∂HP∂Z7,]]>Z9=VP/∂VP∂Z9;]]>

步驟10：結束對準掃描過程，關閉對準掃描系統。